ស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ទំហំ 6 អ៊ីញ

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

Semicera ផ្តល់ជូននូវជួរដ៏ធំទូលាយនៃ 4H-8H SiC wafers ។ អស់រយៈពេលជាច្រើនឆ្នាំ ពួកយើងជាអ្នកផលិត និងអ្នកផ្គត់ផ្គង់ផលិតផលទៅកាន់ឧស្សាហកម្ម semiconductor និង photovoltaic ។ ផលិតផលសំខាន់ៗរបស់យើងរួមមានៈ បន្ទះស៊ីលីកុនកាបែត សំបកកង់ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ទូកស៊ីលីកុន កាប៊ីត វ៉ាហ្វឺរ (PV & Semiconductor) បំពង់ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន កាប៊ីត បន្ទះស៊ីលីកុន កាប៊ីត ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ធ្នឹម ស៊ីលីកុន កាប៊ីត ក៏ដូចជា CVDC ។ ថ្នាំកូត TaC ។ គ្របដណ្តប់ទីផ្សារអឺរ៉ុប និងអាមេរិកភាគច្រើន។ យើងទន្ទឹងរង់ចាំក្លាយជាដៃគូរយៈពេលវែងរបស់អ្នកនៅក្នុងប្រទេសចិន។

 

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

Silicon carbide (SiC) សម្ភារៈគ្រីស្តាល់តែមួយមានទទឹងគម្លាតក្រុមធំ (~Si 3 ដង) ចរន្តកំដៅខ្ពស់ (~Si 3.3 ដង ឬ GaAs 10 ដង) អត្រាតិត្ថិភាពនៃការផ្លាស់ប្តូរអេឡិចត្រុងខ្ពស់ (~Si 2.5 ដង) ការបំបែកចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ វាល (~ Si 10 ដង ឬ GaAs 5 ដង) និងលក្ខណៈលេចធ្លោផ្សេងទៀត។

សមា្ភារៈ semiconductor ជំនាន់ទី 3 ភាគច្រើនរួមមាន SiC, GaN, ពេជ្រ ជាដើម ដោយសារតែទទឹងគម្លាតក្រុម (ឧ) របស់វាធំជាង ឬស្មើទៅនឹង 2.3 វ៉ុលអេឡិចត្រុង (eV) ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា សមា្ភារៈ semiconductor ចន្លោះធំទូលាយ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងសម្ភារៈ semiconductor ជំនាន់ទី 1 និងទីពីរ សម្ភារៈ semiconductor ជំនាន់ទី 3 មានគុណសម្បត្តិនៃចរន្តកំដៅខ្ពស់ វាលអគ្គិសនីបំបែកខ្ពស់ អត្រានៃការធ្វើចំណាកស្រុកអេឡិចត្រុងឆ្អែតខ្ពស់ និងថាមពលផ្សារភ្ជាប់ខ្ពស់ ដែលអាចបំពេញតម្រូវការថ្មីនៃបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិចទំនើបសម្រាប់កម្រិតខ្ពស់។ សីតុណ្ហភាព ថាមពលខ្ពស់ សម្ពាធខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ និងធន់នឹងវិទ្យុសកម្ម និងលក្ខខណ្ឌដ៏អាក្រក់ផ្សេងទៀត។ វាមានទស្សនវិស័យកម្មវិធីសំខាន់ៗក្នុងវិស័យការពារជាតិ អាកាសចរណ៍ អវកាស ការរុករកប្រេង ការផ្ទុកអុបទិក។ល។ ហើយអាចកាត់បន្ថយការបាត់បង់ថាមពលលើសពី 50% នៅក្នុងឧស្សាហកម្មយុទ្ធសាស្ត្រជាច្រើនដូចជា ទំនាក់ទំនងតាមអ៊ីនធឺណិត ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ ការផលិតរថយន្ត។ ភ្លើងបំភ្លឺ semiconductor និងក្រឡាចត្រង្គឆ្លាតវៃ ហើយអាចកាត់បន្ថយបរិមាណឧបករណ៍បានច្រើនជាង 75% ដែលជាសារៈសំខាន់ដ៏សំខាន់សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍វិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យារបស់មនុស្ស។

ថាមពល Semicera អាចផ្តល់ឱ្យអតិថិជននូវគុណភាពខ្ពស់ Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silicon carbide substrate; លើសពីនេះទៀតយើងអាចផ្តល់ឱ្យអតិថិជននូវសន្លឹកស៊ីលីកុន carbide epitaxial ដូចគ្នានិងដូចគ្នា; យើងក៏អាចប្ដូរសន្លឹក epitaxial តាមតម្រូវការជាក់លាក់របស់អតិថិជន ហើយមិនមានបរិមាណបញ្ជាទិញអប្បបរមាទេ។

ធាតុ

ផលិតកម្ម

ស្រាវជ្រាវ

អត់ចេះសោះ

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រគ្រីស្តាល់

ពហុប្រភេទ

4H

កំហុស​ទិស​ផ្ទៃ

<11-20>4±0.15°

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី

សារធាតុពុល

n-ប្រភេទអាសូត

ភាពធន់

0.015-0.025ohm ·cm

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិក

អង្កត់ផ្ចិត

150.0 ± 0.2 ម។

កម្រាស់

350 ± 25 μm

ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម

[1-100]±5°

ប្រវែងផ្ទះល្វែងបឋម

47.5 ± 1.5 ម។

ផ្ទះល្វែងបន្ទាប់បន្សំ

គ្មាន

ធីធីវី

≤5μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

ធ្នូ

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35μm

≤45μm

≤55μm

ផ្នែកខាងមុខ (Si-face) គ្រើម (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

រចនាសម្ព័ន្ធ

ដង់ស៊ីតេមីក្រូ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ

≤5E10អាតូម/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

គុណភាពផ្នែកខាងមុខ

ខាងមុខ

Si

ការបញ្ចប់ផ្ទៃ

Si-face CMP

ភាគល្អិត

≤60ea/wafer (ទំហំ≥0.3μm)

NA

កោស

≤5ea/mm ប្រវែងរួម ≤ អង្កត់ផ្ចិត

ប្រវែងសរុប≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

សំបកក្រូច / រណ្តៅ / ស្នាមប្រឡាក់ / ស្នាមប្រេះ / ស្នាមប្រេះ / ការចម្លងរោគ

គ្មាន

NA

បន្ទះសៀគ្វីគែម / ចូលបន្ទាត់ / បាក់ឆ្អឹង / ចានឆកោន

គ្មាន

តំបន់ពហុប្រភេទ

គ្មាន

តំបន់បង្គរ≤20%

តំបន់បង្គរ≤30%

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងមុខ

គ្មាន

គុណភាពខាងក្រោយ

ការបញ្ចប់ខាងក្រោយ

C-មុខ CMP

កោស

≤5ea/mm, ប្រវែងបង្គុំ≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

ពិការភាពផ្នែកខាងក្រោយ (បន្ទះសៀគ្វី/ការចូលបន្ទាត់)

គ្មាន

ភាពរដុបនៃខ្នង

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងក្រោយ

1 មម (ពីគែមខាងលើ)

គែម

គែម

Chamfer

ការវេចខ្ចប់

ការវេចខ្ចប់

Epi-រួចរាល់ជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់សុញ្ញកាស

ការវេចខ្ចប់កាសែតច្រើនប្រភេទ

*ចំណាំ៖ "NA" មានន័យថាគ្មានសំណើ ធាតុដែលមិនបានរៀបរាប់អាចសំដៅលើ SEMI-STD ។

បច្ចេកវិទ្យា_1_2_ទំហំ
SiC wafers

កន្លែងធ្វើការ Semicera កន្លែងធ្វើការ 2 ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីន ដំណើរការ CNN ការសម្អាតគីមី ថ្នាំកូត CVD សេវាកម្មរបស់យើង។


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖