ទូក SiC Wafer
ទូកកាបោនស៊ីលីកុនគឺជាឧបករណ៍ផ្ទុកសម្រាប់ wafers ដែលត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការសាយភាយពន្លឺព្រះអាទិត្យ និង semiconductor ។វាមានលក្ខណៈដូចជា ធន់នឹងការពាក់ ធន់នឹងច្រេះ ធន់នឹងផលប៉ះពាល់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងការទម្លាក់គ្រាប់បែកប្លាស្មា សមត្ថភាពទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ចរន្តកំដៅខ្ពស់ ការសាយភាយកំដៅខ្ពស់ និងការប្រើប្រាស់បានយូរដែលមិនងាយពត់ និងខូចទ្រង់ទ្រាយ។ក្រុមហ៊ុនរបស់យើងប្រើប្រាស់សម្ភារៈ silicon carbide ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវអាយុកាលសេវាកម្ម និងផ្តល់នូវការរចនាតាមតម្រូវការ រួមទាំង។បញ្ឈរនិងផ្ដេកផ្សេងៗគ្នាទូក wafer.
SiC Paddle
នេះ។ស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ទ្រុងត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងថ្នាំកូត (ការសាយភាយ) នៃ wafers ស៊ីលីកុន ដែលដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូននៃ wafers ស៊ីលីកូននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។វាគឺជាសមាសធាតុសំខាន់នៃsemiconductor waferប្រព័ន្ធផ្ទុក និងមានលក្ខណៈសំខាន់ៗដូចខាងក្រោមៈ
1. វាមិនខូចទ្រង់ទ្រាយនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងមានកម្លាំងផ្ទុកខ្ពស់នៅលើ wafers នេះ;
2. វាមានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងការត្រជាក់ខ្លាំង និងកំដៅលឿន និងមានជីវិតសេវាកម្មបានយូរ។
3. មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅមានទំហំតូច ពង្រីកវដ្តនៃការថែទាំ និងការសម្អាតយ៉ាងខ្លាំង និងកាត់បន្ថយការបំពុលយ៉ាងខ្លាំង។
បំពង់ស៊ីស៊ីស៊ី
បំពង់ដំណើរការស៊ីលីកុនកាបូនធ្វើពី SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដោយគ្មានភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុ មិនបំពុល wafer និងសមរម្យសម្រាប់ដំណើរការដូចជា semiconductor និង photovoltaic diffusion, annealing និងដំណើរការកត់សុី។
ដៃមនុស្សយន្ត SiC
ដៃមនុស្សយន្ត SiCត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា wafer transfer end effector គឺជាដៃមនុស្សយន្តដែលប្រើដើម្បីដឹកជញ្ជូន semiconductor wafers ហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor, optoelectronic និងថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ការប្រើប្រាស់ស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ជាមួយនឹងភាពរឹងខ្ពស់ ធន់នឹងការពាក់ ធន់នឹងរញ្ជួយ ការប្រើប្រាស់បានយូរដោយមិនខូចទ្រង់ទ្រាយ អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ។ល។ អាចផ្តល់សេវាកម្មតាមតម្រូវការ។
ក្រាហ្វិចសម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់
របាំងកំដៅក្រាហ្វិច
បំពង់អេឡិចត្រូតក្រាហ្វិច
ឧបករណ៍បំលែងក្រាហ្វិច
ក្រាហ្វិច chuck
ដំណើរការទាំងអស់ដែលប្រើសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ crvstals semiconductor ដំណើរការនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និង corrosive ។តំបន់ក្តៅនៃចង្រ្កានលូតលាស់គ្រីស្តាល់ជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតដោយភាពបរិសុទ្ធធន់នឹងកំដៅ និងធន់នឹងការច្រេះ។សមាសធាតុក្រាហ្វិច ដូចជា ឧបករណ៍កម្តៅក្រាហ្វិច ឈើឆ្កាង ស៊ីឡាំង ផ្លាកទ័រ ចង្កឹះ បំពង់ ចិញ្ចៀន អ្នកកាន់ គ្រាប់ ល ផលិតផលសម្រេចរបស់យើងអាចទទួលបានបរិមាណផេះតិចជាង 5ppm ។
ក្រាហ្វិចសម្រាប់ Semidonductor Epitaxy
មូលដ្ឋានក្រាហ្វិច
ក្រាហ្វិច Epitaxial Barrel
Monocry Staline Silicon Epitaxial Base
គ្រឿងបន្លាស់ MOCVD Graphite
ឧបករណ៍ភ្ជាប់ក្រាហ្វិច Semiconductor
ដំណើរការ Epitaxial សំដៅលើការរីកលូតលាស់នៃវត្ថុធាតុគ្រីស្តាល់តែមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយជាមួយនឹងការរៀបចំបន្ទះឈើដូចគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។វាទាមទារផ្នែកក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចជាច្រើនជាមួយនឹងថ្នាំកូត SIC ។ក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលប្រើសម្រាប់ semiconductor epitaxy មានកម្មវិធីធំទូលាយដែលអាចផ្គូផ្គងឧបករណ៍ដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ ហើយក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះវាមានកម្រិតខ្ពស់បំផុត។ភាពបរិសុទ្ធ ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន អាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។
សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់និងផ្សេងទៀត។
សមា្ភារៈអ៊ីសូឡង់កំដៅដែលប្រើក្នុងការផលិត semiconductor មានក្រាហ្វិចរឹង មានអារម្មណ៍ទន់ ក្រាហ្វហ្វីត កាបូនសមាសធាតុ វត្ថុធាតុដើមរបស់យើងជាវត្ថុធាតុដើមក្រាហ្វិចដែលនាំចូល ដែលអាចកាត់តាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន ហើយក៏អាចលក់ជា ទាំងមូល។សម្ភារៈសមាសធាតុកាបូនជាធម្មតាត្រូវបានគេប្រើជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនសម្រាប់ដំណើរការផលិតកោសិកា monocrystal និង polysilicon ពន្លឺព្រះអាទិត្យ។