ការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALD) គឺជាបច្ចេកវិជ្ជានៃការបំភាយចំហាយគីមីដែលបង្កើតស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដោយស្រទាប់ដោយចាក់បញ្ចូលម៉ូលេគុលមុនគេពីរឬច្រើន។ ALD មានគុណសម្បត្តិនៃការគ្រប់គ្រងខ្ពស់ និងឯកសណ្ឋាន ហើយអាចប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ឧបករណ៍ optoelectronic ឧបករណ៍ផ្ទុកថាមពល និងវាលផ្សេងទៀត។ គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋាននៃ ALD រួមមានការស្រូបយកមុន ប្រតិកម្មលើផ្ទៃ និងការដកយកចេញដោយផលិតផល ហើយសមា្ភារៈពហុស្រទាប់អាចត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការធ្វើម្តងទៀតនូវជំហានទាំងនេះក្នុងវដ្តមួយ។ ALD មានលក្ខណៈ និងគុណសម្បត្តិនៃការគ្រប់គ្រងខ្ពស់ ភាពស្មើគ្នា និងរចនាសម្ព័ន្ធដែលមិនមាន porous ហើយអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម និងសម្ភារៈផ្សេងៗ។
ALD មានលក្ខណៈ និងគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម៖
1. ការគ្រប់គ្រងខ្ពស់៖ដោយសារ ALD គឺជាដំណើរការលូតលាស់ពីស្រទាប់មួយទៅស្រទាប់ កម្រាស់ និងសមាសភាពនៃស្រទាប់នីមួយៗអាចគ្រប់គ្រងបានយ៉ាងជាក់លាក់។
2. ឯកសណ្ឋាន៖ALD អាចដាក់វត្ថុធាតុស្មើៗគ្នាលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងមូល ជៀសវាងភាពមិនស្មើគ្នាដែលអាចកើតមាននៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ប្រាក់ផ្សេងទៀត។
3. រចនាសម្ព័ន្ធមិន porous:ដោយសារ ALD ត្រូវបានដាក់ក្នុងឯកតានៃអាតូមតែមួយ ឬម៉ូលេគុលតែមួយ ខ្សែភាពយន្តលទ្ធផលជាធម្មតាមានរចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់ និងមិនមានរន្ធ។
4. ដំណើរការគ្របដណ្តប់ល្អ៖ALD អាចគ្របដណ្តប់យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនូវរចនាសម្ព័ន្ធសមាមាត្រខ្ពស់ ដូចជាអារេ nanopore សម្ភារៈ porosity ខ្ពស់ជាដើម។
5. លទ្ធភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាន៖ALD អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមជាច្រើន រួមទាំងលោហៈ សារធាតុ semiconductors កញ្ចក់។ល។
6. ភាពបត់បែន៖តាមរយៈការជ្រើសរើសម៉ូលេគុលមុនគេ វត្ថុធាតុផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនអាចត្រូវបានដាក់ក្នុងដំណើរការ ALD ដូចជាអុកស៊ីដលោហៈ ស៊ុលហ្វីត នីត្រាត ជាដើម។
