ពណ៌ខៀវ/បៃតង LED epitaxy ពី semicera ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយទំនើបសម្រាប់ការផលិត LED ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ រចនាឡើងដើម្បីគាំទ្រដល់ដំណើរការលូតលាស់នៃអេពីតាកស៊ីលកម្រិតខ្ពស់ បច្ចេកវិទ្យា LED ពណ៌ខៀវ/បៃតងរបស់ semicera បង្កើនប្រសិទ្ធភាព និងភាពជាក់លាក់ក្នុងការផលិតអំពូល LED ពណ៌ខៀវ និងបៃតង ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធី optoelectronic ផ្សេងៗ។ ដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យាទំនើបបំផុត Si Epitaxy និង SiC Epitaxy ដំណោះស្រាយនេះធានានូវគុណភាពល្អឥតខ្ចោះ និងយូរអង្វែង។
នៅក្នុងដំណើរការផលិត MOCVD Susceptor ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ រួមជាមួយនឹងសមាសធាតុដូចជា PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier និង RTP Carrier ដែលធ្វើអោយបរិយាកាសលូតលាស់ epitaxial ប្រសើរឡើង។ អំពូល LED ពណ៌ខៀវ/បៃតងរបស់ Semicera ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្តល់នូវការគាំទ្រប្រកបដោយស្ថេរភាពសម្រាប់ LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor និង Monocrystalline Silicon ដែលធានានូវការផលិតនូវលទ្ធផលដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
ដំណើរការ epitaxy នេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការបង្កើតផ្នែក Photovoltaic និងគាំទ្រកម្មវិធីដូចជា GaN នៅលើ SiC Epitaxy ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាព semiconductor ទាំងមូល។ មិនថានៅក្នុងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ Pancake Susceptor ឬត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការដំឡើងកម្រិតខ្ពស់ផ្សេងទៀតទេ ដំណោះស្រាយ LED epitaxy ពណ៌ខៀវ/បៃតងរបស់ semicera ផ្តល់នូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបាន ដោយជួយអ្នកផលិតបំពេញតម្រូវការដែលកំពុងកើនឡើងសម្រាប់សមាសធាតុ LED ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
លក្ខណៈសំខាន់ៗ៖
1. ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖
ភាពធន់ទ្រាំអុកស៊ីតកម្មនៅតែល្អណាស់នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពឡើងដល់ 1600 C ។
2. ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ : ធ្វើឡើងដោយការទម្លាក់ចំហាយគីមីនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌ chlorination សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
3. ធន់នឹងសំណឹក៖ ភាពរឹងខ្ពស់ ផ្ទៃបង្រួម ភាគល្អិតល្អ។
4. ធន់នឹងច្រេះ៖ អាស៊ីត អាល់កាឡាំង អំបិល និងសារធាតុសរីរាង្គ។
លក្ខណៈពិសេសចម្បងនៃថ្នាំកូត CVD-SIC
| លក្ខណៈសម្បត្តិ SiC-CVD | ||
| រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | ដំណាក់កាល FCC β | |
| ដង់ស៊ីតេ | g/cm ³ | ៣.២១ |
| រឹង | ភាពរឹងរបស់ Vickers | ២៥០០ |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ | μm | ២~១០ |
| ភាពបរិសុទ្ធគីមី | % | ៩៩.៩៩៩៩៥ |
| សមត្ថភាពកំដៅ | J·kg-1 · K-1 | ៦៤០ |
| សីតុណ្ហភាព Sublimation | ℃ | ២៧០០ |
| កម្លាំង Felexural | MPa (RT 4 ចំណុច) | ៤១៥ |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | Gpa (ពត់ 4pt, 1300 ℃) | ៤៣០ |
| ការពង្រីកកំដៅ (CTE) | 10-6K-1 | ៤.៥ |
| ចរន្តកំដៅ | (W/mK) | ៣០០ |
