ការណែនាំអំពីថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន
ស្រទាប់ការពារចំហាយគីមី (CVD) Silicon Carbide (SiC) របស់យើងគឺជាស្រទាប់ដែលធន់ទ្រាំនឹងការពាក់បានខ្ពស់ ដែលល្អសម្រាប់បរិស្ថានដែលទាមទារភាពធន់នឹងការ corrosion និងកម្ដៅខ្ពស់។ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងស្រទាប់ស្តើងលើស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងៗតាមរយៈដំណើរការ CVD ដែលផ្តល់នូវលក្ខណៈនៃការអនុវត្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
លក្ខណៈសំខាន់ៗ
● - ភាពបរិសុទ្ធពិសេស៖ អួតពីសមាសភាពដ៏បរិសុទ្ធបំផុតនៃ99.99995%របស់យើង។ថ្នាំកូត SiCកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការចម្លងរោគនៅក្នុងប្រតិបត្តិការ semiconductor រសើប។
● - ភាពធន់ខ្ពស់៖ បង្ហាញភាពធន់ល្អឥតខ្ចោះចំពោះទាំងការពាក់ និងការច្រេះ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ការកំណត់សារធាតុគីមី និងប្លាស្មា។
● - ចរន្តកំដៅខ្ពស់។៖ ធានាបាននូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបាននៅក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្លាំង ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅដ៏លេចធ្លោរបស់វា។
● - ស្ថេរភាពវិមាត្រ៖ រក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធនៅទូទាំងជួរសីតុណ្ហភាពដ៏ធំទូលាយ ដោយសារមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅទាបរបស់វា។
● - បង្កើនភាពរឹង៖ ជាមួយនឹងចំណាត់ថ្នាក់រឹងនៃ40 GPaថ្នាំកូត SiC របស់យើងទប់ទល់នឹងផលប៉ះពាល់ និងសំណឹកខ្លាំង។
● - ផ្ទៃរលោង៖ ផ្តល់នូវការបញ្ចប់ដូចកញ្ចក់ កាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការ។
កម្មវិធី
Semicera ថ្នាំកូត SiCត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃការផលិត semiconductor រួមមាន:
● -ការផលិតបន្ទះឈីប LED
● -ផលិតកម្មប៉ូលីស៊ីលីកុន
● -ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ Semiconductor
● -Silicon និង SiC Epitaxy
● -ការសាយភាយ និងអុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ (TO&D)
យើងផ្គត់ផ្គង់សមាសធាតុដែលស្រោបដោយ SiC ដែលផលិតចេញពីក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិចដែលមានកម្លាំងខ្ពស់ កាបោនដែលពង្រឹងដោយជាតិសរសៃ និង 4N recrystallized silicon carbide រចនាឡើងសម្រាប់រ៉េអាក់ទ័រ fluidized-bed,ឧបករណ៍បំលែង STC-TCS, ឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំងឯកតា CZ, SiC wafer boat, SiCwafer paddle, SiC wafer tube, និង wafer carriers ដែលប្រើក្នុង PECVD, silicon epitaxy, ដំណើរការ MOCVD.
អត្ថប្រយោជន៍
● - ពន្យារអាយុជីវិត៖ កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំឧបករណ៍ និងថ្លៃថែទាំយ៉ាងសំខាន់ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មទាំងមូល។
● - គុណភាពប្រសើរឡើង៖ សម្រេចបាននូវផ្ទៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលចាំបាច់សម្រាប់ដំណើរការ semiconductor ដូច្នេះការបង្កើនគុណភាពផលិតផល។
● - បង្កើនប្រសិទ្ធភាព៖ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការកម្ដៅ និង CVD ដែលបណ្តាលឱ្យរយៈពេលវដ្តខ្លី និងទិន្នផលខ្ពស់ជាង។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស
● - រចនាសម្ព័ន្ធ: FCC β ដំណាក់កាល polycrystaline, ជាចម្បង (111) តម្រង់ទិស
● - ដង់ស៊ីតេ: 3.21 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ³
● - រឹង: 2500 Vickes រឹង (500 ក្រាម)
● -Fracture Toughness: 3.0 MPa·m1/2
● -មេគុណពង្រីកកំដៅ (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● - ម៉ូឌុល Elastic (1300 ℃):៤៣៥ ជីប៉ា
● -Typical Film Thickness:100 µm
● - ភាពរដុបលើផ្ទៃ:២-១០ µm
ទិន្នន័យភាពបរិសុទ្ធ (វាស់ដោយ Glow Discharge Mass Spectroscopy)
| ធាតុ | ppm | ធាតុ | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| អាល់ | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
