GaN Epitaxy

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

GaN Epitaxy គឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះក្នុងការផលិតឧបករណ៍ semiconductor ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដោយផ្តល់នូវប្រសិទ្ធភាពពិសេស ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពជឿជាក់។ ដំណោះស្រាយ GaN Epitaxy របស់ Semicera ត្រូវបានរៀបចំឡើងដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការនៃកម្មវិធីទំនើបៗ ដែលធានាបាននូវគុណភាពល្អឥតខ្ចោះ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៅគ្រប់ស្រទាប់។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

Semiceraដោយមោទនភាពបង្ហាញភាពទាន់សម័យរបស់វា។GaN Epitaxyសេវាកម្មដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដែលកំពុងរីកចម្រើននៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ។ Gallium nitride (GaN) គឺជាសម្ភារៈដែលគេស្គាល់សម្រាប់លក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសរបស់វា ហើយដំណើរការលូតលាស់ epitaxial របស់យើងធានាថាអត្ថប្រយោជន៍ទាំងនេះត្រូវបានដឹងយ៉ាងពេញលេញនៅក្នុងឧបករណ៍របស់អ្នក។

ស្រទាប់ GaN ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ Semiceraមានជំនាញក្នុងការផលិតគុណភាពខ្ពស់GaN Epitaxyស្រទាប់ដែលផ្តល់នូវភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន និងភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធ។ ស្រទាប់ទាំងនេះមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីផ្សេងៗ ចាប់ពីគ្រឿងអេឡិចត្រូនិករហូតដល់អុបតូអេឡិចត្រូនិច ដែលដំណើរការល្អ និងភាពជឿជាក់គឺចាំបាច់។ បច្ចេកទេសលូតលាស់យ៉ាងជាក់លាក់របស់យើងធានាថាស្រទាប់ GaN នីមួយៗត្រូវតាមស្តង់ដារជាក់លាក់ដែលត្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ទំនើបៗ។

ធ្វើឱ្យប្រសើរសម្រាប់ប្រសិទ្ធភាពនេះ។GaN Epitaxyផ្តល់ដោយ Semicera ត្រូវបានវិស្វកម្មជាពិសេសដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចរបស់អ្នក។ តាមរយៈការផ្តល់នូវស្រទាប់ GaN ទាប និងមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ យើងអនុញ្ញាតឱ្យឧបករណ៍ដំណើរការនៅប្រេកង់ និងវ៉ុលខ្ពស់ជាងមុន ជាមួយនឹងការថយចុះនៃការបាត់បង់ថាមពល។ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនេះគឺជាគន្លឹះសម្រាប់កម្មវិធីដូចជាត្រង់ស៊ីស្ទ័រចល័តអេឡិចត្រូនិចខ្ពស់ (HEMTs) និង diodes បញ្ចេញពន្លឺ (LEDs) ដែលប្រសិទ្ធភាពគឺសំខាន់បំផុត។

សក្ដានុពលនៃកម្មវិធីដែលអាចប្រើប្រាស់បាន។ Semiceraរបស់GaN Epitaxyមានភាពចម្រុះ ផ្គត់ផ្គង់ដល់ឧស្សាហកម្ម និងកម្មវិធីយ៉ាងទូលំទូលាយ។ មិនថាអ្នកកំពុងបង្កើតឧបករណ៍ពង្រីកថាមពល សមាសធាតុ RF ឬ diodes ឡាស៊ែរទេ ស្រទាប់ GaN epitaxial របស់យើងផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលត្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងអាចទុកចិត្តបាន។ ដំណើរការរបស់យើងអាចត្រូវបានកែសម្រួលដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់ ដោយធានាថាផលិតផលរបស់អ្នកទទួលបានលទ្ធផលល្អបំផុត។

ការប្តេជ្ញាចិត្តចំពោះគុណភាពគុណភាពគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃSemiceraវិធីសាស្រ្តរបស់GaN Epitaxy. យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាលូតលាស់អេពីតាស៊ីលកម្រិតខ្ពស់ និងវិធានការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងម៉ត់ចត់ ដើម្បីផលិតស្រទាប់ GaN ដែលបង្ហាញពីឯកសណ្ឋានដ៏ល្អ ដង់ស៊ីតេនៃពិការភាពទាប និងលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដ៏ប្រសើរ។ ការប្តេជ្ញាចិត្តចំពោះគុណភាពនេះធានាថាឧបករណ៍របស់អ្នកមិនត្រឹមតែបំពេញបានប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែលើសពីស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។

បច្ចេកទេសលូតលាស់ប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិត Semiceraគឺនៅជួរមុខនៃការច្នៃប្រឌិតក្នុងវិស័យGaN Epitaxy. ក្រុមរបស់យើងបន្តស្វែងរកវិធីសាស្រ្ត និងបច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗ ដើម្បីកែលម្អដំណើរការលូតលាស់ ដោយផ្តល់នូវស្រទាប់ GaN ជាមួយនឹងលក្ខណៈអគ្គិសនី និងកម្ដៅដែលប្រសើរឡើង។ ការច្នៃប្រឌិតទាំងនេះប្រែក្លាយទៅជាឧបករណ៍ដែលដំណើរការបានល្អជាងមុន មានសមត្ថភាពបំពេញតម្រូវការនៃកម្មវិធីជំនាន់ក្រោយ។

ដំណោះស្រាយតាមបំណងសម្រាប់គម្រោងរបស់អ្នក។ដោយទទួលស្គាល់ថាគម្រោងនីមួយៗមានតម្រូវការតែមួយគត់។Semiceraផ្តល់ជូនតាមបំណងGaN Epitaxyដំណោះស្រាយ។ មិនថាអ្នកត្រូវការទម្រង់ doping ជាក់លាក់ កម្រាស់ស្រទាប់ ឬការបញ្ចប់ផ្ទៃទេ យើងធ្វើការយ៉ាងជិតស្និទ្ធជាមួយអ្នកដើម្បីបង្កើតដំណើរការដែលបំពេញតាមតម្រូវការពិតប្រាកដរបស់អ្នក។ គោលដៅរបស់យើងគឺផ្តល់ឱ្យអ្នកនូវស្រទាប់ GaN ដែលត្រូវបានវិស្វកម្មយ៉ាងជាក់លាក់ដើម្បីគាំទ្រដល់ដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍របស់អ្នក។

ធាតុ

ផលិតកម្ម

ស្រាវជ្រាវ

អត់ចេះសោះ

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រគ្រីស្តាល់

ពហុប្រភេទ

4H

កំហុស​ទិស​ផ្ទៃ

<11-20>4±0.15°

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី

សារធាតុពុល

n-ប្រភេទអាសូត

ភាពធន់

0.015-0.025ohm ·cm

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិក

អង្កត់ផ្ចិត

150.0 ± 0.2 ម។

កម្រាស់

350 ± 25 μm

ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម

[1-100]±5°

ប្រវែងផ្ទះល្វែងបឋម

47.5 ± 1.5 ម។

ផ្ទះល្វែងបន្ទាប់បន្សំ

គ្មាន

ធីធីវី

≤5μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

ធ្នូ

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35μm

≤45μm

≤55μm

ផ្នែកខាងមុខ (Si-face) គ្រើម (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

រចនាសម្ព័ន្ធ

ដង់ស៊ីតេមីក្រូ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ

≤5E10អាតូម/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

គុណភាពផ្នែកខាងមុខ

ខាងមុខ

Si

ការបញ្ចប់ផ្ទៃ

Si-face CMP

ភាគល្អិត

≤60ea/wafer (ទំហំ≥0.3μm)

NA

កោស

≤5ea/mm ប្រវែងរួម ≤ អង្កត់ផ្ចិត

ប្រវែងសរុប≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

សំបកក្រូច / រណ្តៅ / ស្នាមប្រឡាក់ / ស្នាមប្រេះ / ស្នាមប្រេះ / ការចម្លងរោគ

គ្មាន

NA

បន្ទះសៀគ្វីគែម / ចូលបន្ទាត់ / បាក់ឆ្អឹង / ចានឆកោន

គ្មាន

តំបន់ពហុប្រភេទ

គ្មាន

តំបន់បង្គរ≤20%

តំបន់បង្គរ≤30%

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងមុខ

គ្មាន

គុណភាពខាងក្រោយ

ការបញ្ចប់ខាងក្រោយ

C-មុខ CMP

កោស

≤5ea/mm, ប្រវែងបង្គុំ≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

ពិការភាពផ្នែកខាងក្រោយ (បន្ទះសៀគ្វី/ការចូលបន្ទាត់)

គ្មាន

ភាពរដុបនៃខ្នង

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងក្រោយ

1 មម (ពីគែមខាងលើ)

គែម

គែម

Chamfer

ការវេចខ្ចប់

ការវេចខ្ចប់

Epi-រួចរាល់ជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់សុញ្ញកាស

ការវេចខ្ចប់កាសែតច្រើនប្រភេទ

*ចំណាំ៖ "NA" មានន័យថាគ្មានសំណើ ធាតុដែលមិនបានរៀបរាប់អាចសំដៅលើ SEMI-STD ។

បច្ចេកវិទ្យា_1_2_ទំហំ
SiC wafers

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖