ការពិពណ៌នា
ក្រាហ្វិច Susceptor ជាមួយថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន, 6 បំណែកក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer 6 អ៊ីញពី semicera ផ្តល់នូវភាពធន់ពិសេស និងចរន្តកំដៅសម្រាប់កម្មវិធីលូតលាស់ epitaxial ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ Semicera មានឯកទេសខាង susceptors កម្រិតខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្កើនដំណើរការដូចជាស៊ីអ៊ីភីតាស៊ីនិងSiC Epitaxyធានានូវដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបានក្នុងតម្រូវការបរិស្ថាន semiconductor ។
ឧបករណ៏នេះត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើជាមួយMOCVD Susceptorប្រព័ន្ធ និងផ្តល់នូវភាពឆបគ្នាជាមួយនឹងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនផ្សេងៗដូចជា PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier និង RTP Carrier។ វាល្អសម្រាប់ការផលិត Monocrystalline Silicon និងការដំឡើង LED Epitaxial Susceptor ដែលផ្តល់នូវភាពបត់បែនក្នុងការកំណត់ផ្សេងៗគ្នា រួមទាំងការរចនា Barrel Susceptor និង Pancake Susceptor ។
Graphite Susceptor ជាមួយនឹង Silicon Carbide Coating ក៏គាំទ្រកម្មវិធីនៅក្នុងវិស័យថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យតាមរយៈការរួមបញ្ចូលរបស់វាជាមួយផ្នែក Photovoltaic និង excels នៅក្នុង GaN លើដំណើរការ SiC Epitaxy ។ សមត្ថភាពក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer ទំហំ 6 អ៊ីញរបស់វាធានានូវលំហូរខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាឧបករណ៍សំខាន់សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor និង photovoltaic ។
លក្ខណៈពិសេសចម្បង
1 .ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ SiC coated graphite
2. ភាពធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ & ឯកសណ្ឋានកម្ដៅ
3. ផាកពិន័យស្រោបគ្រីស្តាល់ SiCសម្រាប់ផ្ទៃរលោង
4. ធន់ខ្ពស់ប្រឆាំងនឹងការសម្អាតគីមី
លក្ខណៈបច្ចេកទេសសំខាន់ៗនៃថ្នាំកូត CVD-SIC៖
SiC-CVD | ||
ដង់ស៊ីតេ | (g/cc) | ៣.២១ |
កម្លាំងបត់បែន | (Mpa) | ៤៧០ |
ការពង្រីកកំដៅ | (10-6/K) | 4 |
ចរន្តកំដៅ | (W/mK) | ៣០០ |
ការវេចខ្ចប់និងការដឹកជញ្ជូន
សមត្ថភាពផ្គត់ផ្គង់៖
10000 ដុំ / ដុំក្នុងមួយខែ
ការវេចខ្ចប់ និងដឹកជញ្ជូន៖
ការវេចខ្ចប់៖ ការវេចខ្ចប់ស្តង់ដារ និងរឹងមាំ
ថង់ប៉ូលី + ប្រអប់ + ប្រអប់ + ប៉ាឡែត
ច្រក៖
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
ពេលវេលានាំមុខ៖
បរិមាណ (បំណែក) | 1-1000 | > 1000 |
ប៉ាន់ស្មាន ពេលវេលា(ថ្ងៃ) | 30 | ដែលត្រូវចរចា |