Semicera ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។បន្ទះស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានវិស្វកម្មយ៉ាងល្អិតល្អន់ដើម្បីបំពេញតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃដំណើរការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកទំនើប។ នេះ។SiC Cantilever Paddleល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ផ្តល់នូវស្ថេរភាពកម្ដៅដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន និងភាពធន់មេកានិច។ រចនាសម្ព័ន្ធ SiC Cantilever ត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរ ធានាបាននូវការគ្រប់គ្រង wafer ដែលអាចទុកចិត្តបានក្នុងដំណើរការផ្សេងៗ។
ការច្នៃប្រឌិតដ៏សំខាន់មួយរបស់ អSiC Paddleគឺជាការរចនាទម្ងន់ស្រាល ប៉ុន្តែរឹងមាំរបស់វា ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានភាពងាយស្រួលក្នុងការរួមបញ្ចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធដែលមានស្រាប់។ ចរន្តកំដៅខ្ពស់របស់វាជួយរក្សាស្ថិរភាព wafer ក្នុងអំឡុងពេលដំណាក់កាលសំខាន់ដូចជាការ etching និង deposition កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចខាត wafer និងធានាបាននូវទិន្នផលផលិតកម្មខ្ពស់។ ការប្រើប្រាស់ស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ក្នុងការសាងសង់ទ្រនាប់ជួយបង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ និងការរហែក ផ្តល់អាយុកាលប្រតិបត្តិការបានយូរ និងកាត់បន្ថយតម្រូវការជំនួសញឹកញាប់។
Semicera ដាក់ការសង្កត់ធ្ងន់យ៉ាងខ្លាំងលើការច្នៃប្រឌិតដោយផ្តល់នូវ កSiC Cantilever Paddleដែលមិនត្រឹមតែបំពេញបាន ប៉ុន្តែលើសពីស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។ paddle នេះត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងកម្មវិធី semiconductor ផ្សេងៗ ចាប់ពីការទម្លាក់រហូតដល់ការឆ្លាក់ ដែលភាពជាក់លាក់ និងភាពជឿជាក់មានសារៈសំខាន់ណាស់។ តាមរយៈការរួមបញ្ចូលបច្ចេកវិជ្ជាទំនើបនេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតអាចរំពឹងថានឹងប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាព កាត់បន្ថយការចំណាយលើការថែទាំ និងគុណភាពផលិតផលជាប់លាប់។
| លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តនៃ Silicon Carbide កែច្នៃឡើងវិញ | |
| ទ្រព្យសម្បត្តិ | តម្លៃធម្មតា |
| សីតុណ្ហភាពការងារ (°C) | 1600 ° C (ជាមួយអុកស៊ីសែន), 1700 ° C (កាត់បន្ថយបរិស្ថាន) |
| មាតិកាស៊ីស៊ី | > 99.96% |
| មាតិកា Si ឥតគិតថ្លៃ | < 0.1% |
| ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន | 2.60-2.70 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3 |
| porosity ជាក់ស្តែង | < 16% |
| កម្លាំងបង្ហាប់ | > 600 MPa |
| កម្លាំងពត់កោងត្រជាក់ | 80-90 MPa (20 ° C) |
| កម្លាំងពត់កោងក្តៅ | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| ការពង្រីកកំដៅនៅ 1500°C | ៤.៧០ ១០-6/°C |
| ចរន្តកំដៅ 1200°C | 23 W/m•K |
| ម៉ូឌុលបត់បែន | 240 GPa |
| ភាពធន់នឹងការឆក់កំដៅ | ល្អណាស់ |
