SEMICERA isostatic PECVD graphite boat គឺជាផលិតផលក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ រចនាឡើងសម្រាប់ការគាំទ្រ wafer នៅក្នុងដំណើរការ PECVD (ប្លាស្មាបង្កើនការបញ្ចេញចំហាយគីមី)។ SEMICERA ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាចុចអ៊ីសូស្តាទិកកម្រិតខ្ពស់ ដើម្បីធានាថាទូកក្រាហ្វីតមានភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងចរន្តកំដៅដ៏ល្អ ដែលជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ដែលមិនអាចខ្វះបានក្នុងដំណើរការផលិតសារធាតុ semiconductor ។
SEMICERA isostatic PECVD graphite boat មានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
▪ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ វត្ថុធាតុក្រាហ្វិចមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសារធាតុមិនបរិសុទ្ធទាប ដើម្បីជៀសវាងការបំពុលលើផ្ទៃ wafer ។
▪ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់។
▪ ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ។
▪ ចរន្តកំដៅដ៏ល្អ៖ ផ្ទេរកំដៅយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីការពារកុំឱ្យឡើងកំដៅរបស់ wafer ។
▪ ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង៖ អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មា។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រតិបត្តិការ | semicera | SGL R6510 | ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រតិបត្តិការ |
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន (g/cm3) | ១.៩១ | ១.៨៣ | ១.៨៥ |
កម្លាំងពត់កោង (MPa) | 63 | 60 | 49 |
កម្លាំងបង្ហាប់ (MPa) | ១៣៥ | ១៣០ | ១០៣ |
ភាពរឹងរបស់ច្រាំង (HS) | 70 | 64 | 60 |
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (10-6/K) | 85 | ១០៥ | ១៣០ |
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (10-6/K) | ៥.៨៥ | ៤.២ | ៥.០ |
ភាពធន់ (μΩm) | ១១-១៣ | 13 | 10 |
គុណសម្បត្តិនៃការជ្រើសរើសពួកយើង៖
▪ ការជ្រើសរើសសម្ភារៈ៖ វត្ថុធាតុដើមក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីធានាគុណភាពផលិតផល។
▪ បច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃ៖ ការចុច Isostatic ត្រូវបានប្រើដើម្បីធានាបាននូវដង់ស៊ីតេ និងឯកសណ្ឋាននៃផលិតផល។
▪ ការប្ដូរទំហំតាមបំណង៖ ទូកក្រាហ្វិចដែលមានទំហំ និងរាងខុសៗគ្នាអាចប្ដូរតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។
▪ ការព្យាបាលលើផ្ទៃ៖ វិធីសាស្រ្តព្យាបាលលើផ្ទៃជាច្រើនប្រភេទត្រូវបានផ្តល់ជូន ដូចជាការស្រោបស៊ីលីកុន កាបូនអ៊ីដ្រាត បូរុននីត្រាត ជាដើម ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។