ទូកក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិច PECVD

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

Isostatic PECVD graphite boat ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងតំណភ្ជាប់ផ្សេងៗនៃការផលិត semiconductor ដូចជាការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្ត polysilicon ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីត ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្ត nitride ជាដើម។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

SEMICERA isostatic PECVD graphite boat គឺជាផលិតផលក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ រចនាឡើងសម្រាប់ការគាំទ្រ wafer នៅក្នុងដំណើរការ PECVD (ប្លាស្មាបង្កើនការបញ្ចេញចំហាយគីមី)។ SEMICERA ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាចុចអ៊ីសូស្តាទិកកម្រិតខ្ពស់ ដើម្បីធានាថាទូកក្រាហ្វីតមានភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងចរន្តកំដៅដ៏ល្អ ដែលជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ដែលមិនអាចខ្វះបានក្នុងដំណើរការផលិតសារធាតុ semiconductor ។

 

SEMICERA isostatic PECVD graphite boat មានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ

▪ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ វត្ថុធាតុក្រាហ្វិចមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសារធាតុមិនបរិសុទ្ធទាប ដើម្បីជៀសវាងការបំពុលលើផ្ទៃ wafer ។

▪ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់។

▪ ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ។

▪ ចរន្តកំដៅដ៏ល្អ៖ ផ្ទេរកំដៅយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីការពារកុំឱ្យឡើងកំដៅរបស់ wafer ។

▪ ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង៖ អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មា។

 

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រតិបត្តិការ

semicera SGL R6510 ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រតិបត្តិការ
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន (g/cm3) ១.៩១ ១.៨៣ ១.៨៥
កម្លាំងពត់កោង (MPa) 63 60 49
កម្លាំងបង្ហាប់ (MPa) ១៣៥ ១៣០ ១០៣
ភាពរឹងរបស់ច្រាំង (HS) 70 64 60
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (10-6/K) 85 ១០៥ ១៣០
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (10-6/K) ៥.៨៥ ៤.២ ៥.០
ភាពធន់ (μΩm) ១១-១៣ 13 10

 

គុណសម្បត្តិនៃការជ្រើសរើសពួកយើង៖
▪ ការជ្រើសរើសសម្ភារៈ៖ វត្ថុធាតុដើមក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីធានាគុណភាពផលិតផល។
▪ បច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃ៖ ការចុច Isostatic ត្រូវបានប្រើដើម្បីធានាបាននូវដង់ស៊ីតេ និងឯកសណ្ឋាននៃផលិតផល។
▪ ការប្ដូរទំហំតាមបំណង៖ ទូកក្រាហ្វិចដែលមានទំហំ និងរាងខុសៗគ្នាអាចប្ដូរតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។
▪ ការព្យាបាលលើផ្ទៃ៖ វិធីសាស្រ្តព្យាបាលលើផ្ទៃជាច្រើនប្រភេទត្រូវបានផ្តល់ជូន ដូចជាការស្រោបស៊ីលីកុន កាបូនអ៊ីដ្រាត បូរុននីត្រាត ជាដើម ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។

 

ទូកក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិច
ទូកក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិច
ទូកក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិច -២
កន្លែងធ្វើការ Semicera
កន្លែងធ្វើការ 2
ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីន
ដំណើរការ CNN ការសម្អាតគីមី ថ្នាំកូត CVD
Semicera Ware House
សេវាកម្មរបស់យើង។

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖