តើអ្វីទៅជា CVD SiC
ការបំភាយចំហាយគីមី (CVD) គឺជាដំណើរការបន្សុទ្ធខ្យល់ដែលប្រើសម្រាប់ផលិតវត្ថុធាតុរឹងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ដំណើរការនេះត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងវិស័យផលិត semiconductor ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើផ្ទៃនៃ wafers ។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការរៀបចំ SiC ដោយ CVD ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានប៉ះពាល់ទៅនឹងសារធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុមួយ ឬច្រើន ដែលមានប្រតិកម្មគីមីលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីដាក់ប្រាក់បញ្ញើ SiC ដែលចង់បាន។ ក្នុងចំណោមវិធីសាស្រ្តជាច្រើនសម្រាប់ការរៀបចំសម្ភារៈ SiC ផលិតផលដែលរៀបចំដោយការបំភាយចំហាយគីមីមានឯកសណ្ឋាន និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយវិធីសាស្ត្រមានការគ្រប់គ្រងដំណើរការខ្លាំង។
សមា្ភារៈ CVD SiC គឺស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ដែលទាមទារសម្ភារៈដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដោយសារតែការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ពិសេសរបស់ពួកគេនៃលក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ អគ្គិសនី និងគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ សមាសធាតុ CVD SiC ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍ etching ឧបករណ៍ MOCVD ឧបករណ៍ Si epitaxial និងឧបករណ៍ SiC epitaxial ឧបករណ៍ដំណើរការកំដៅរហ័ស និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។
សរុបមក ផ្នែកទីផ្សារដ៏ធំបំផុតនៃសមាសធាតុ CVD SiC គឺការឆ្លាក់សមាសធាតុឧបករណ៍។ ដោយសារតែមានប្រតិកម្ម និងចរន្តទាបរបស់វាចំពោះឧស្ម័នក្លរីន និងសារធាតុហ្វ្លុយអូរីន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន CVD គឺជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់សមាសធាតុដូចជា ចិញ្ចៀនផ្ដោតនៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា។
សមាសធាតុស៊ីលីកុន CVD នៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់រួមមាន ចិញ្ចៀនផ្ដោត ក្បាលផ្កាឈូកឧស្ម័ន ថាស ចិញ្ចៀនគែម។ល។ យកចិញ្ចៀនផ្ដោតជាឧទាហរណ៍ ចិញ្ចៀនផ្ដោតគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់ដែលដាក់នៅខាងក្រៅ wafer និងទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ជាមួយ wafer ។ ដោយអនុវត្តវ៉ុលទៅសង្វៀនដើម្បីផ្តោតលើប្លាស្មាដែលឆ្លងកាត់ចិញ្ចៀននោះប្លាស្មាត្រូវបានផ្តោតលើ wafer ដើម្បីកែលម្អឯកសណ្ឋាននៃដំណើរការ។
ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍បែបប្រពៃណីត្រូវបានធ្វើពីស៊ីលីកុនឬរ៉ែថ្មខៀវ។ ជាមួយនឹងការរីកចំរើននៃសៀគ្វីតូចរួមបញ្ចូលគ្នា តម្រូវការ និងសារៈសំខាន់នៃដំណើរការ etching នៅក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាកំពុងកើនឡើង ហើយថាមពល និងថាមពលនៃ etching plasma នៅតែបន្តកើនឡើង។ ជាពិសេស ថាមពលប្លាស្មាដែលត្រូវការនៅក្នុងឧបករណ៍ etching plasma capacitively coupled (CCP) គឺខ្ពស់ជាង ដូច្នេះអត្រានៃការប្រើប្រាស់រង្វង់ផ្តោតដែលធ្វើពីសមា្ភារៈស៊ីលីកុន carbide កំពុងកើនឡើង។ ដ្យាក្រាមគំនូសតាងនៃ CVD silicon carbide focus ring ត្រូវបានបង្ហាញខាងក្រោម៖
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-២០-២០២៤