ផ្នែកខាងមុខនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មគឺដូចជាការចាក់គ្រឹះនិងសាងសង់ជញ្ជាំងផ្ទះ។ នៅក្នុងការផលិត semiconductor ដំណាក់កាលនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធមូលដ្ឋាន និងត្រង់ស៊ីស្ទ័រនៅលើ wafer ស៊ីលីកុន។
ជំហានសំខាន់ៗនៃ FEOL៖
1. ការសម្អាត៖ចាប់ផ្តើមជាមួយ wafer ស៊ីលីកុនស្តើង ហើយសម្អាតវា ដើម្បីលុបភាពមិនស្អាត។
2. អុកស៊ីតកម្ម៖បណ្តុះស្រទាប់ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតនៅលើ wafer ដើម្បីញែកផ្នែកផ្សេងៗនៃបន្ទះឈីប។
3. Photolithography៖ប្រើ photolithography ដើម្បីឆ្លាក់លំនាំនៅលើ wafer ស្រដៀងនឹងការគូរប្លង់ដោយពន្លឺ។
4. ការឆ្លាក់:ដកស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដែលមិនចង់បានចេញ ដើម្បីបង្ហាញគំរូដែលចង់បាន។
៥.សារធាតុញៀន៖ណែនាំភាពមិនបរិសុទ្ធទៅក្នុងស៊ីលីកុន ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីរបស់វា បង្កើតត្រង់ស៊ីស្ទ័រ ដែលជាបណ្តុំគ្រឹះនៃបន្ទះឈីបណាមួយ។
ខ្សែកណ្តាល (MEOL)៖ ការភ្ជាប់ចំណុច
ចុងបញ្ចប់នៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មគឺដូចជាការដំឡើងខ្សែភ្លើងនិងប្រព័ន្ធទឹកនៅក្នុងផ្ទះ។ ដំណាក់កាលនេះផ្តោតលើការបង្កើតការតភ្ជាប់រវាងត្រង់ស៊ីស្ទ័រដែលបានបង្កើតក្នុងដំណាក់កាល FEOL ។
ជំហានសំខាន់ៗរបស់ MEOL៖
1. ការទម្លាក់ Dielectric:ដាក់ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ (ហៅថា dielectrics) ដើម្បីការពារត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។
2. ការបង្កើតទំនាក់ទំនង៖បង្កើតទំនាក់ទំនងដើម្បីភ្ជាប់ត្រង់ស៊ីស្ទ័រទៅគ្នាទៅវិញទៅមក និងពិភពខាងក្រៅ។
3. ការភ្ជាប់ទំនាក់ទំនងគ្នា៖បន្ថែមស្រទាប់ដែកដើម្បីបង្កើតផ្លូវសម្រាប់សញ្ញាអគ្គិសនី ស្រដៀងនឹងខ្សែភ្លើងផ្ទះ ដើម្បីធានាបាននូវថាមពលគ្មានថ្នេរ និងលំហូរទិន្នន័យ។
Back End of Line (BEOL)៖ បញ្ចប់ការប៉ះ
-
ផ្នែកខាងក្រោយនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មគឺដូចជាការបន្ថែមការប៉ះចុងក្រោយទៅផ្ទះមួយ - ការដំឡើងឧបករណ៍ ការគូរគំនូរ និងធានាថាអ្វីៗដំណើរការ។ នៅក្នុងការផលិត semiconductor ដំណាក់កាលនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការបន្ថែមស្រទាប់ចុងក្រោយ និងការរៀបចំបន្ទះឈីបសម្រាប់ការវេចខ្ចប់។
ជំហានសំខាន់ៗរបស់ BEOL៖
1. ស្រទាប់ដែកបន្ថែម៖បន្ថែមស្រទាប់លោហធាតុជាច្រើនដើម្បីបង្កើនទំនាក់ទំនងគ្នាទៅវិញទៅមក ធានាថាបន្ទះឈីបអាចដោះស្រាយកិច្ចការស្មុគស្មាញ និងល្បឿនលឿន។
2. អកម្ម៖អនុវត្តស្រទាប់ការពារដើម្បីការពារបន្ទះឈីបពីការខូចខាតបរិស្ថាន។
3. ការធ្វើតេស្ត៖បញ្ចូលបន្ទះឈីបទៅការធ្វើតេស្តយ៉ាងម៉ត់ចត់ ដើម្បីធានាថាវាបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសទាំងអស់។
4. គ្រាប់ឡុកឡាក់៖កាត់ wafer ចូលទៅក្នុងបន្ទះសៀគ្វីនីមួយៗ ដែលត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ការវេចខ្ចប់ និងប្រើប្រាស់ក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-០៨-២០២៤