ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលប្រើក្នុងការផលិត semiconductor សុទ្ធតែមានភាពធន់ទ្រាំ ហើយភាពធន់នឹងខ្សែភាពយន្តមានផលប៉ះពាល់ផ្ទាល់ទៅលើដំណើរការរបស់ឧបករណ៍។ ជាធម្មតាយើងមិនវាស់ភាពធន់ដាច់ខាតនៃខ្សែភាពយន្តនោះទេ ប៉ុន្តែប្រើភាពធន់នៃសន្លឹកដើម្បីកំណត់លក្ខណៈរបស់វា។
តើធន់នឹងសន្លឹក និងកម្រិតសំឡេងអ្វី?
ភាពធន់នៃកម្រិតសំឡេង ឬហៅម្យ៉ាងទៀតថា ធន់នឹងកម្រិតសំឡេង គឺជាទ្រព្យសម្បត្តិដែលមានស្រាប់នៃវត្ថុធាតុ ដែលកំណត់លក្ខណៈថាតើសម្ភារៈដែលរារាំងលំហូរនៃចរន្តអគ្គិសនី។ និមិត្តសញ្ញាដែលប្រើជាទូទៅ ρ តំណាងឱ្យ ឯកតាគឺ Ω ។
ភាពធន់នៃសន្លឹក ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា ធន់នឹងសន្លឹក ឈ្មោះជាភាសាអង់គ្លេសគឺ ភាពធន់នឹងសន្លឹក ដែលសំដៅទៅលើតម្លៃធន់នៃខ្សែភាពយន្តក្នុងមួយឯកតា។ និមិត្តសញ្ញាដែលប្រើជាទូទៅ Rs ឬ ρs ដើម្បីបង្ហាញ ឯកតាគឺ Ω/sq ឬ Ω/□
ទំនាក់ទំនងរវាងទាំងពីរគឺ៖ ធន់នឹងសន្លឹក = ធន់ទ្រាំកម្រិតសំឡេង/កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្ត នោះគឺ Rs =ρ/t
ហេតុអ្វីបានជាវាស់ភាពធន់នៃសន្លឹក?
ការវាស់ស្ទង់ភាពធន់ដាច់ខាតនៃខ្សែភាពយន្តទាមទារចំណេះដឹងច្បាស់លាស់អំពីវិមាត្រធរណីមាត្ររបស់ខ្សែភាពយន្ត (ប្រវែង ទទឹង កម្រាស់) ដែលមានអថេរជាច្រើន និងស្មុគស្មាញសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ឬរាងមិនទៀងទាត់។ ភាពធន់នៃសន្លឹកគឺទាក់ទងតែជាមួយកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តហើយអាចត្រូវបានសាកល្បងយ៉ាងឆាប់រហ័សនិងដោយផ្ទាល់ដោយគ្មានការគណនាទំហំស្មុគស្មាញ។
តើខ្សែភាពយន្តមួយណាដែលត្រូវវាស់ស្ទង់ភាពធន់នឹងសន្លឹក?
ជាទូទៅ ខ្សែភាពយន្ត conductive និង semiconductor films ត្រូវការវាស់សម្រាប់ភាពធន់ការ៉េ ខណៈដែលខ្សែភាពយន្ត insulating មិនត្រូវការវាស់។
នៅក្នុងសារធាតុ semiconductor ភាពធន់នៃសន្លឹកស៊ីលីកុនក៏ត្រូវបានវាស់ផងដែរ។
តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីវាស់ភាពធន់ទ្រាំការ៉េ?
វិធីសាស្រ្ត 4-probe ជាទូទៅត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម។ វិធីសាស្ត្រ 4-probe អាចវាស់ស្ទង់ភាពធន់ការ៉េចាប់ពី 1E-3 ដល់ 1E+9Ω/sq ។ វិធីសាស្ត្រ 4-probe អាចជៀសវាងកំហុសក្នុងការវាស់វែង ដោយសារភាពធន់នៃទំនាក់ទំនងរវាង probe និងសំណាកគំរូ។
វិធីសាស្រ្តវាស់វែង៖
1) កំណត់ការស៊ើបអង្កេតដែលបានរៀបចំជាលីនេអ៊ែរចំនួនបួននៅលើផ្ទៃនៃគំរូ។
2) អនុវត្តចរន្តថេររវាងការស៊ើបអង្កេតខាងក្រៅទាំងពីរ។
3) កំណត់ភាពធន់ដោយវាស់ភាពខុសគ្នាសក្តានុពលរវាងការស៊ើបអង្កេតខាងក្នុងទាំងពីរ
RS: ភាពធន់នឹងសន្លឹក
ΔV: ការផ្លាស់ប្តូរវ៉ុលវាស់រវាងការស៊ើបអង្កេតខាងក្នុង
I: បច្ចុប្បន្នបានអនុវត្តរវាងការស៊ើបអង្កេតខាងក្រៅ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤