បច្ចុប្បន្ននេះវិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំរបស់ថ្នាំកូត SiCភាគច្រើនរួមមានវិធីសាស្ត្រជែលសូល វិធីសាស្ត្របង្កប់ វិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតជក់ វិធីសាស្ត្របាញ់ថ្នាំប្លាស្មា វិធីសាស្ត្រប្រតិកម្មចំហាយគីមី (CVR) និងវិធីសាស្ត្រទម្លាក់ចំហាយគីមី (CVD)។
វិធីសាស្រ្តបង្កប់
វិធីសាស្រ្តនេះគឺជាប្រភេទនៃការ sintering ដំណាក់កាលរឹងដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដែលភាគច្រើនប្រើម្សៅ Si និង C ជាម្សៅបង្កប់។ម៉ាទ្រីសក្រាហ្វិចនៅក្នុងម្សៅបង្កប់ និង sinters នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងឧស្ម័ន inert ហើយទីបំផុតទទួលបានថ្នាំកូត SiCនៅលើផ្ទៃនៃម៉ាទ្រីសក្រាហ្វីត។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺសាមញ្ញក្នុងដំណើរការ ហើយថ្នាំកូត និងម៉ាទ្រីសត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់គ្នាយ៉ាងល្អ ប៉ុន្តែភាពស្មើគ្នានៃថ្នាំកូតនៅតាមបណ្តោយទិសដៅនៃកម្រាស់គឺអន់ ហើយវាងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតរន្ធបន្ថែមទៀត ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពធន់ទ្រាំអុកស៊ីតកម្មមិនល្អ។
វិធីសាស្ត្រលាបថ្នាំជក់
វិធីសាស្រ្តនៃការលាបថ្នាំជក់ ភាគច្រើនដុសសម្អាតវត្ថុធាតុរាវនៅលើផ្ទៃនៃម៉ាទ្រីសក្រាហ្វីត ហើយបន្ទាប់មកធ្វើឱ្យវត្ថុធាតុរឹងរឹងនៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូត។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺសាមញ្ញក្នុងដំណើរការ និងចំណាយតិច ប៉ុន្តែថ្នាំកូតដែលរៀបចំដោយវិធីថ្នាំកូតជក់មានទំនាក់ទំនងខ្សោយជាមួយម៉ាទ្រីស ភាពស្មើគ្នានៃថ្នាំកូតមិនល្អ ថ្នាំកូតស្តើង និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មទាប ហើយត្រូវការវិធីសាស្រ្តផ្សេងទៀតដើម្បីជួយ។
វិធីសាស្រ្តបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា
វិធីសាស្ត្របាញ់ថ្នាំប្លាស្មា ភាគច្រើនប្រើកាំភ្លើងប្លាស្មា ដើម្បីបាញ់វត្ថុធាតុដើមដែលរលាយ ឬពាក់កណ្តាលរលាយលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វិត ហើយបន្ទាប់មកធ្វើឱ្យរឹងមាំ និងចំណងដើម្បីបង្កើតជាថ្នាំកូត។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺសាមញ្ញក្នុងការដំណើរការនិងអាចរៀបចំក្រាស់ដែលទាក់ទងថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន, ប៉ុន្តែថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនការរៀបចំដោយវិធីសាស្រ្តនេះច្រើនតែខ្សោយពេកក្នុងការមានភាពធន់ទ្រាំអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង ដូច្នេះជាទូទៅវាត្រូវបានគេប្រើដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូត SiC ដើម្បីបង្កើនគុណភាពនៃថ្នាំកូត។
វិធីសាស្ត្រជែលសូល។
វិធីសាស្ត្រជែល-សូល ភាគច្រើនរៀបចំដំណោះស្រាយសូលុយស្យុងឯកសណ្ឋាន និងថ្លា ដើម្បីគ្របដណ្តប់លើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ស្ងួតវាទៅជាជែល ហើយបន្ទាប់មក sinters វាដើម្បីទទួលបានថ្នាំកូត។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺសាមញ្ញក្នុងការដំណើរការ និងមានតម្លៃទាប ប៉ុន្តែថ្នាំកូតដែលបានរៀបចំមានគុណវិបត្តិដូចជាធន់នឹងកំដៅទាប និងងាយបំបែក ហើយមិនអាចប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបានទេ។
វិធីសាស្ត្រប្រតិកម្មចំហាយគីមី (CVR)
CVR បង្កើតជាចម្បងនូវចំហាយ SiO ដោយប្រើម្សៅ Si និង SiO2 នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយប្រតិកម្មគីមីជាបន្តបន្ទាប់កើតឡើងលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមសម្ភារៈ C ដើម្បីបង្កើតថ្នាំកូត SiC ។ ថ្នាំកូត SiC ដែលរៀបចំដោយវិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានភ្ជាប់យ៉ាងតឹងរឹងទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមប៉ុន្តែសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មគឺខ្ពស់ហើយការចំណាយក៏ខ្ពស់ផងដែរ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៤-មិថុនា-២០២៤