ដំណើរការរាប់រយត្រូវបានទាមទារដើម្បីបង្វែរ awaferចូលទៅក្នុង semiconductor ។ ដំណើរការដ៏សំខាន់បំផុតមួយគឺetching- នោះគឺឆ្លាក់លំនាំសៀគ្វីដ៏ល្អនៅលើwafer. ជោគជ័យរបស់ គetchingដំណើរការអាស្រ័យលើការគ្រប់គ្រងអថេរផ្សេងៗនៅក្នុងជួរចែកចាយដែលបានកំណត់ ហើយឧបករណ៍ឆ្លាក់នីមួយៗត្រូវតែរៀបចំដើម្បីដំណើរការក្រោមលក្ខខណ្ឌដ៏ល្អប្រសើរ។ វិស្វករដំណើរការ etching របស់យើងប្រើបច្ចេកវិជ្ជាផលិតដ៏អស្ចារ្យដើម្បីបញ្ចប់ដំណើរការលម្អិតនេះ។
មជ្ឈមណ្ឌលព័ត៌មាន SK Hynix បានសម្ភាសន៍សមាជិកនៃក្រុមបច្ចេកទេស Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch និង End Etch ដើម្បីស្វែងយល់បន្ថែមអំពីការងាររបស់ពួកគេ។
ល៖ ដំណើរឆ្ពោះទៅរកការកែលម្អផលិតភាព
នៅក្នុងការផលិត semiconductor, etching សំដៅលើលំនាំឆ្លាក់នៅលើខ្សែភាពយន្តស្តើង។ លំនាំត្រូវបានបាញ់ដោយប្រើប្លាស្មាដើម្បីបង្កើតជាគ្រោងចុងក្រោយនៃជំហានដំណើរការនីមួយៗ។ គោលបំណងចម្បងរបស់វាគឺដើម្បីបង្ហាញយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនូវលំនាំច្បាស់លាស់យោងទៅតាមប្លង់ និងរក្សាបានលទ្ធផលឯកសណ្ឋាននៅក្រោមលក្ខខណ្ឌទាំងអស់។
ប្រសិនបើបញ្ហាកើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់ ឬ photolithography ពួកគេអាចត្រូវបានដោះស្រាយដោយបច្ចេកវិទ្យាជ្រើសរើស etching (Etch) ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ប្រសិនបើមានអ្វីខុសអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់ ស្ថានភាពមិនអាចត្រឡប់វិញបានទេ។ នេះគឺដោយសារតែសម្ភារៈដូចគ្នាមិនអាចបំពេញបាននៅក្នុងតំបន់ឆ្លាក់។ ដូច្នេះនៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ការ etching គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ដើម្បីកំណត់ទិន្នផល និងគុណភាពផលិតផលទាំងមូល។
ដំណើរការឆ្លាក់រួមមានប្រាំបីជំហាន៖ ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN និង MLM ។
ដំបូង ដំណាក់កាល ISO (Isolation) etches (Etch) silicon (Si) នៅលើ wafer ដើម្បីបង្កើតផ្ទៃក្រឡាសកម្ម។ ដំណាក់កាល BG (Buried Gate) បង្កើតជាបន្ទាត់អាស័យដ្ឋានជួរដេក (Word Line) 1 និងច្រកទ្វារដើម្បីបង្កើតបណ្តាញអេឡិចត្រូនិច។ បន្ទាប់មក ដំណាក់កាល BLC (Bit Line Contact) បង្កើតការតភ្ជាប់រវាង ISO និងបន្ទាត់អាសយដ្ឋានជួរឈរ (Bit Line) 2 នៅក្នុងតំបន់ក្រឡា។ ដំណាក់កាល GBL (Peri Gate + Cell Bit Line) នឹងបង្កើតបន្ទាត់អាសយដ្ឋានជួរឈរក្រឡា និងច្រកទ្វារក្នុងបរិវេណ 3 ក្នុងពេលដំណាលគ្នា។
ដំណាក់កាល SNC (Storage Node Contract) បន្តបង្កើតការតភ្ជាប់រវាងផ្ទៃសកម្ម និងថ្នាំងផ្ទុក 4. ជាបន្តបន្ទាប់ ដំណាក់កាល M0 (Metal0) បង្កើតជាចំណុចតភ្ជាប់នៃគ្រឿងកុំព្យូទ័រ S/D (Storage Node) 5 និងចំណុចតភ្ជាប់ រវាងបន្ទាត់អាសយដ្ឋានជួរឈរ និងថ្នាំងផ្ទុក។ ដំណាក់កាល SN (Storage Node) បញ្ជាក់ពីសមត្ថភាពឯកតា ហើយដំណាក់កាលបន្តបន្ទាប់ MLM (Multi Layer Metal) បង្កើតការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលខាងក្រៅ និងខ្សែភ្លើងខាងក្នុង ហើយដំណើរការវិស្វកម្ម etching (Etch) ទាំងមូលត្រូវបានបញ្ចប់។
ដោយមើលឃើញថាអ្នកបច្ចេកទេស etching (Etch) ទទួលខុសត្រូវជាចម្បងសម្រាប់ការធ្វើគំរូនៃ semiconductors នាយកដ្ឋាន DRAM ត្រូវបានបែងចែកជាបីក្រុម៖ Front Etch (ISO, BG, BLC); ឆ្លាក់កណ្តាល (GBL, SNC, M0); បញ្ចប់ Etch (SN, MLM) ។ ក្រុមទាំងនេះក៏ត្រូវបានបែងចែកទៅតាមទីតាំងផលិត និងទីតាំងឧបករណ៍ផងដែរ។
មុខតំណែងផលិតកម្មទទួលខុសត្រូវក្នុងការគ្រប់គ្រង និងកែលម្អដំណើរការផលិតឯកតា។ មុខតំណែងផលិតកម្មដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការកែលម្អទិន្នផល និងគុណភាពផលិតផល តាមរយៈការត្រួតពិនិត្យអថេរ និងវិធានការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មផ្សេងទៀត។
មុខតំណែងគ្រឿងបរិក្ខារមានទំនួលខុសត្រូវក្នុងការគ្រប់គ្រង និងពង្រឹងឧបករណ៍ផលិតកម្ម ដើម្បីបញ្ចៀសបញ្ហាដែលអាចកើតមានក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់។ ទំនួលខុសត្រូវស្នូលនៃមុខតំណែងឧបករណ៍គឺដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការល្អបំផុតនៃឧបករណ៍។
ទោះបីជាទំនួលខុសត្រូវមានភាពច្បាស់លាស់ក៏ដោយ ក្រុមទាំងអស់ធ្វើការឆ្ពោះទៅរកគោលដៅរួម ពោលគឺគ្រប់គ្រង និងកែលម្អដំណើរការផលិតកម្ម និងឧបករណ៍ពាក់ព័ន្ធដើម្បីបង្កើនផលិតភាព។ ដល់ទីបញ្ចប់នេះ ក្រុមនីមួយៗចែករំលែកយ៉ាងសកម្មនូវសមិទ្ធិផល និងផ្នែកផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ពួកគេសម្រាប់ការកែលម្អ និងសហការដើម្បីកែលម្អដំណើរការអាជីវកម្ម។
របៀបទប់ទល់នឹងបញ្ហាប្រឈមនៃបច្ចេកវិទ្យាខ្នាតតូច
SK Hynix បានចាប់ផ្តើមផលិតកម្មដ៏ធំនៃផលិតផល 8Gb LPDDR4 DRAM សម្រាប់ដំណើរការថ្នាក់ 10nm (1a) នៅខែកក្កដា ឆ្នាំ 2021។
គំរូសៀគ្វីអង្គចងចាំ semiconductor បានចូលដល់យុគសម័យ 10nm ហើយបន្ទាប់ពីការកែលម្អ DRAM តែមួយអាចផ្ទុកកោសិកាប្រហែល 10,000 ។ ដូច្នេះសូម្បីតែនៅក្នុងដំណើរការ etching រឹមដំណើរការគឺមិនគ្រប់គ្រាន់។
ប្រសិនបើរន្ធដែលបានបង្កើត (រន្ធ) 6 តូចពេក វាអាចនឹងលេចចេញជា "មិនបានបើក" និងរារាំងផ្នែកខាងក្រោមនៃបន្ទះឈីប។ លើសពីនេះទៀតប្រសិនបើរន្ធដែលបានបង្កើតឡើងមានទំហំធំពេក "ស្ពាន" អាចកើតឡើង។ នៅពេលដែលគម្លាតរវាងរន្ធពីរមិនគ្រប់គ្រាន់ "ការភ្ជាប់" កើតឡើងដែលបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហានៃការស្អិតជាប់គ្នាទៅវិញទៅមកក្នុងជំហានជាបន្តបន្ទាប់។ នៅពេលដែលសារធាតុ semiconductors កាន់តែមានភាពចម្រាញ់ ជួរនៃតម្លៃទំហំរន្ធនឹងថយចុះជាលំដាប់ ហើយហានិភ័យទាំងនេះនឹងត្រូវបានលុបចោលបន្តិចម្តងៗ។
ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាខាងលើ អ្នកជំនាញផ្នែកបច្ចេកវិជ្ជាឆ្លាក់រូបបន្តកែលម្អដំណើរការ រួមទាំងការកែប្រែរូបមន្តដំណើរការ និងក្បួនដោះស្រាយ APC7 និងការណែនាំបច្ចេកវិទ្យាថ្មីដូចជា ADCC8 និង LSR9 ជាដើម។
នៅពេលដែលតម្រូវការរបស់អតិថិជនកាន់តែមានភាពចម្រុះ បញ្ហាប្រឈមមួយទៀតបានកើតមានឡើង ពោលគឺនិន្នាការនៃផលិតកម្មពហុផលិតផល។ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជនបែបនេះ លក្ខខណ្ឌដំណើរការល្អប្រសើរបំផុតសម្រាប់ផលិតផលនីមួយៗចាំបាច់ត្រូវកំណត់ដោយឡែកពីគ្នា។ នេះគឺជាបញ្ហាប្រឈមពិសេសមួយសម្រាប់វិស្វករ ពីព្រោះពួកគេត្រូវការធ្វើឱ្យបច្ចេកវិទ្យាផលិតកម្មដ៏ធំឆ្លើយតបនឹងតម្រូវការទាំងលក្ខខណ្ឌដែលបានបង្កើតឡើង និងលក្ខខណ្ឌចម្រុះ។
ដល់ទីបញ្ចប់នេះ វិស្វករ Etch បានណែនាំបច្ចេកវិទ្យា "APC offset" 10 ដើម្បីគ្រប់គ្រងនិស្សន្ទវត្ថុផ្សេងៗដោយផ្អែកលើផលិតផលស្នូល (Core Products) ហើយបានបង្កើត និងប្រើប្រាស់ "ប្រព័ន្ធ T-index" ដើម្បីគ្រប់គ្រងផលិតផលផ្សេងៗយ៉ាងទូលំទូលាយ។ តាមរយៈកិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងទាំងនេះ ប្រព័ន្ធត្រូវបានកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការផលិតកម្មពហុផលិតផល។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-១៦-២០២៤