ដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ស្ថិតនៅចំកណ្តាលនៃការផលិត semiconductor ដែលការផលិត wafers ដែលមានគុណភាពខ្ពស់មានសារៈសំខាន់ណាស់។ សមាសធាតុសំខាន់មួយនៅក្នុងដំណើរការទាំងនេះគឺទូក wafer ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC). ទូក wafer របស់ SiC ទទួលបានការទទួលស្គាល់យ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ ដោយសារតែដំណើរការដ៏ពិសេស និងភាពជឿជាក់របស់ពួកគេ។ នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងស្វែងយល់ពីគុណលក្ខណៈគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃSiC wafer ទូកនិងតួនាទីរបស់ពួកគេក្នុងការជួយសម្រួលដល់ការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ក្នុងការផលិត semiconductor ។
SiC wafer ទូកត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសដើម្បីកាន់ និងដឹកជញ្ជូន wafers semiconductor ក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ក្នុងនាមជាសម្ភារៈមួយ ស៊ីលីកុនកាបូនផ្តល់នូវការរួមបញ្ចូលគ្នាតែមួយគត់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិដែលគួរឱ្យចង់បាន ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់ទូក wafer ។ ទីមួយ និងសំខាន់បំផុតគឺកម្លាំងមេកានិចដ៏ល្អ និងស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ SiC មានភាពរឹងមាំល្អឥតខ្ចោះ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរដែលបានជួបប្រទះក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។
អត្ថប្រយោជន៍សំខាន់មួយនៃSiC wafer ទូកគឺជាចរន្តកំដៅពិសេសរបស់ពួកគេ។ ការសាយភាយកំដៅគឺជាកត្តាសំខាន់មួយក្នុងការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ព្រោះវាមានឥទ្ធិពលលើឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាព និងការពារភាពតានតឹងកម្ដៅនៅលើ wafers ។ ចរន្តកំដៅខ្ពស់របស់ SiC ជួយសម្រួលដល់ការផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ធានានូវការចែកចាយសីតុណ្ហភាពស្របគ្នានៅទូទាំង wafers ។ លក្ខណៈនេះមានអត្ថប្រយោជន៍ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការដូចជាការលូតលាស់ epitaxial ដែលការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការសម្រេចបាននូវស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន។
លើសពីនេះSiC wafer ទូកបង្ហាញពីភាពអសកម្មគីមីដ៏អស្ចារ្យ។ ពួកវាមានភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីច្រេះ និងឧស្ម័នជាច្រើនប្រភេទដែលប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតសារធាតុ semiconductor ។ ស្ថេរភាពគីមីនេះធានាថាSiC wafer ទូករក្សាភាពសុចរិត និងការអនុវត្តរបស់ពួកគេលើការប៉ះពាល់រយៈពេលយូរទៅនឹងបរិស្ថានដំណើរការដ៏អាក្រក់។ ភាពធន់នឹងការវាយប្រហារគីមី ការពារការចម្លងរោគ និងការរិចរិលសម្ភារៈ ការពារគុណភាពនៃ wafers ដែលកំពុងលូតលាស់។
ស្ថេរភាពវិមាត្រនៃទូក SiC wafer គឺជាទិដ្ឋភាពគួរឱ្យកត់សម្គាល់មួយទៀត។ ពួកវាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីរក្សារូបរាង និងទម្រង់របស់វាសូម្បីតែនៅក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយធានាបាននូវទីតាំងត្រឹមត្រូវនៃ wafers កំឡុងពេលលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ស្ថេរភាពវិមាត្រកាត់បន្ថយការខូចទ្រង់ទ្រាយ ឬការប៉ះទង្គិចនៃទូក ដែលអាចនាំឱ្យមានការតម្រឹមខុស ឬការលូតលាស់មិនស្មើគ្នានៅទូទាំង wafers ។ ទីតាំងច្បាស់លាស់នេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការសម្រេចបាននូវទិសដៅគ្រីស្តាល់ដែលចង់បាន និងឯកសណ្ឋាននៅក្នុងសម្ភារៈ semiconductor លទ្ធផល។
ទូក wafer SiC ក៏ផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីដ៏ល្អផងដែរ។ Silicon carbide គឺជាសម្ភារៈ semiconductor ដោយខ្លួនវាផ្ទាល់ ដែលត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយ bandgap ធំទូលាយ និងវ៉ុលបំបែកខ្ពស់។ លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីដែលមានស្រាប់របស់ SiC ធានាបាននូវការលេចធ្លាយអគ្គិសនីតិចតួច និងការជ្រៀតជ្រែកក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសនៅពេលរីកលូតលាស់ឧបករណ៍ដែលមានថាមពលខ្ពស់ ឬធ្វើការជាមួយរចនាសម្ព័ន្ធអេឡិចត្រូនិចដែលងាយរងគ្រោះ ដោយសារវាជួយរក្សាភាពសុចរិតនៃសម្ភារៈ semiconductor ដែលត្រូវបានផលិត។
លើសពីនេះ ទូក SiC wafer ត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានអាយុកាលវែង និងអាចប្រើប្រាស់ឡើងវិញបាន។ ពួកវាមានអាយុកាលប្រតិបត្តិការយូរ ដោយមានសមត្ថភាពស៊ូទ្រាំនឹងវដ្តនៃការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ជាច្រើនដោយមិនមានការខ្សោះជីវជាតិខ្លាំង។ ភាពធន់នេះប្រែទៅជាប្រសិទ្ធភាពចំណាយ និងកាត់បន្ថយតម្រូវការសម្រាប់ការជំនួសញឹកញាប់។ ការប្រើប្រាស់ឡើងវិញនៃ SiC wafer boats មិនត្រឹមតែរួមចំណែកដល់ការអនុវត្តផលិតកម្មប្រកបដោយនិរន្តរភាពប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងធានាបាននូវការអនុវត្តជាប់លាប់ និងភាពជឿជាក់ក្នុងដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ផងដែរ។
សរុបសេចក្តីមក ទូក wafer របស់ SiC បានក្លាយជាសមាសធាតុសំខាន់មួយនៅក្នុងការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់សម្រាប់ការផលិត semiconductor ។ កម្លាំងមេកានិចពិសេសរបស់ពួកគេ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ចរន្តកំដៅ ភាពអសកម្មគីមី ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីធ្វើឱ្យពួកគេចង់បានយ៉ាងខ្លាំងក្នុងការសម្រួលដល់ដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ទូក wafer SiC ធានាបាននូវការចែកចាយសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាន ការពារការចម្លងរោគ និងបើកទីតាំងច្បាស់លាស់នៃ wafers ដែលទីបំផុតនាំទៅដល់ការផលិតសម្ភារៈ semiconductor ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ នៅពេលដែលតម្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor កម្រិតខ្ពស់បន្តកើនឡើង សារៈសំខាន់នៃទូក SiC wafer ក្នុងការសម្រេចបាននូវកំណើនគ្រីស្តាល់ដ៏ល្អប្រសើរមិនអាចលើសពីការរំពឹងទុកនោះទេ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-០៨-២០២៤