របៀបដែលយើងផលិត-ដំណើរការជំហានសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម SiC មានដូចខាងក្រោម៖
1. ទិសគ្រីស្តាល់៖
ដោយប្រើការបំភាយកាំរស្មី X ដើម្បីតម្រង់ទិសនៃគ្រីស្តាល់។ នៅពេលដែលកាំរស្មីអ៊ិចត្រូវបានតម្រង់ទៅមុខគ្រីស្តាល់ដែលចង់បាន មុំនៃធ្នឹមដែលផ្លាស់ប្តូរទិសដៅកំណត់ទិសដៅរបស់គ្រីស្តាល់។
2. ការកិនអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅ៖
គ្រីស្តាល់ទោលដែលដុះនៅក្នុងក្រាហ្វិច ក្រាហ្វិច ច្រើនតែលើសពីអង្កត់ផ្ចិតស្តង់ដារ។ ការកិនអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅកាត់បន្ថយពួកវាទៅទំហំស្តង់ដារ។
3. បញ្ចប់ការកិនមុខ៖
ស្រទាប់ខាងក្រោម 4H-SiC ទំហំ 4 អ៊ីញ ជាធម្មតាមានគែមទីតាំងពីរ គឺបឋម និងអនុវិទ្យាល័យ។ ការកិនមុខបញ្ចប់បើកគែមទីតាំងទាំងនេះ។
4. ការកាត់ខ្សែភ្លើង៖
ការកាត់ខ្សែគឺជាជំហានដ៏សំខាន់មួយក្នុងការដំណើរការស្រទាប់ខាងក្រោម 4H-SiC ។ ការបំបែក និងការខូចខាតរងលើផ្ទៃដែលបង្កឡើងកំឡុងពេលកាត់ខ្សែភ្លើង ជះឥទ្ធិពលអវិជ្ជមានដល់ដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ ពន្យាពេលដំណើរការ និងបណ្តាលឱ្យបាត់បង់សម្ភារៈ។ វិធីសាស្រ្តទូទៅបំផុតគឺ sawing multi-wire ជាមួយនឹងការ abrasive ពេជ្រ។ ចលនាច្រាសមកវិញនៃខ្សភ្លើងដែកដែលភ្ជាប់ជាមួយសារធាតុសំណឹកពេជ្រត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់ 4H-SiC ingot ។
5. Chamfering:
ដើម្បីបងា្ករការច្រេះគែម និងកាត់បន្ថយការខាតបង់ដែលអាចប្រើប្រាស់បានក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ គែមមុតស្រួចនៃបន្ទះសៀគ្វីដែលកាត់ដោយខ្សែត្រូវបានកាត់តាមទម្រង់ដែលបានបញ្ជាក់។
6. ស្តើង៖
ការកាត់ខ្សែភ្លើងបន្សល់ទុកនូវស្នាមឆ្កូតជាច្រើន និងការខូចខាតផ្ទៃរង។ ការស្តើងត្រូវបានធ្វើដោយប្រើកង់ពេជ្រដើម្បីលុបពិការភាពទាំងនេះឱ្យបានច្រើនតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។
7. កិន៖
ដំណើរការនេះរួមបញ្ចូលទាំងការកិនរដុប និងការកិនល្អដោយប្រើសារធាតុបូរ៉ុនកាបូន ឬពេជ្រដែលមានទំហំតូចជាង ដើម្បីលុបការខូចខាតដែលនៅសេសសល់ និងការខូចខាតថ្មីដែលបានណែនាំក្នុងអំឡុងពេលស្តើង។
8. ប៉ូលា៖
ជំហានចុងក្រោយពាក់ព័ន្ធនឹងការខាត់រដុប និងការខាត់ល្អដោយប្រើសារធាតុ alumina ឬ silicon oxide abrasives។ វត្ថុរាវប៉ូលាធ្វើឱ្យផ្ទៃទន់ ដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានយកចេញដោយមេកានិចដោយសារធាតុសំណឹក។ ជំហាននេះធានាបាននូវផ្ទៃរលោងនិងមិនខូច។
9. ការសម្អាត៖
ការយកចេញនូវភាគល្អិត លោហធាតុ ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីត សំណល់សរីរាង្គ និងសារធាតុកខ្វក់ផ្សេងទៀតដែលបន្សល់ទុកពីដំណាក់កាលដំណើរការ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-១៥-២០២៤