Epitaxial Growth គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដែលបណ្តុះស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ (ស្រទាប់ខាងក្រោម) ជាមួយនឹងការតំរង់ទិសរបស់គ្រីស្តាល់ដូចគ្នាទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម ដូចជាប្រសិនបើគ្រីស្តាល់ដើមបានលាតសន្ធឹងទៅខាងក្រៅ។ ស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយដែលទើបនឹងលូតលាស់ថ្មីនេះអាចមានភាពខុសប្លែកពីស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃប្រភេទ conductivity, resistivity, ល។ ហើយអាចដុះលូតលាស់ស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានកម្រាស់ខុសៗគ្នា និងតម្រូវការខុសៗគ្នា ដូច្នេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពបត់បែននៃការរចនាឧបករណ៍ និងដំណើរការឧបករណ៍។ លើសពីនេះទៀតដំណើរការ epitaxial ក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា PN junction isolation នៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងក្នុងការកែលម្អគុណភាពសម្ភារៈនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ។
ការចាត់ថ្នាក់នៃ epitaxy គឺផ្អែកជាចម្បងលើសមាសធាតុគីមីផ្សេងៗគ្នានៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ epitaxy និងវិធីសាស្ត្រលូតលាស់ខុសៗគ្នា។
យោងតាមសមាសធាតុគីមីផ្សេងៗគ្នាការលូតលាស់ epitaxial អាចត្រូវបានបែងចែកជាពីរប្រភេទ៖
1. Homoepitaxial:
ក្នុងករណីនេះស្រទាប់ epitaxial មានសមាសធាតុគីមីដូចគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ឧទាហរណ៍ ស្រទាប់ epitaxial ស៊ីលីកុនត្រូវបានដាំដុះដោយផ្ទាល់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុន។
2. Heteroepitaxy៖
នៅទីនេះសមាសធាតុគីមីនៃស្រទាប់ epitaxial គឺខុសគ្នាពីស្រទាប់ខាងក្រោម។ ឧទាហរណ៍ ស្រទាប់ epitaxial gallium nitride ត្រូវបានដាំដុះនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀង។
យោងតាមវិធីសាស្ត្រលូតលាស់ផ្សេងៗគ្នា បច្ចេកវិទ្យាការលូតលាស់របស់ epitaxial ក៏អាចបែងចែកជាប្រភេទផ្សេងៗបានដែរ៖
1. អេពីតាស៊ីនៃធ្នឹមម៉ូលេគុល (MBE)៖
នេះគឺជាបច្ចេកវិទ្យាសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ ដែលត្រូវបានសម្រេចដោយការគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវអត្រាលំហូរនៃធ្នឹមម៉ូលេគុល និងដង់ស៊ីតេនៃធ្នឹមនៅក្នុងកន្លែងទំនេរកម្រិតខ្ពស់បំផុត។
2. ការបញ្ចេញចំហាយគីមីសរីរាង្គលោហធាតុ (MOCVD)៖
បច្ចេកវិជ្ជានេះប្រើសមាសធាតុសរីរាង្គលោហធាតុ និងសារធាតុប្រតិកម្មដំណាក់កាលឧស្ម័ន ដើម្បីអនុវត្តប្រតិកម្មគីមីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលត្រូវការ។ វាមានកម្មវិធីធំទូលាយក្នុងការរៀបចំសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor ចម្រុះ។
3. ដំណាក់កាលរាវ epitaxy (LPE):
ដោយការបន្ថែមវត្ថុរាវទៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ និងអនុវត្តការព្យាបាលកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ វត្ថុធាតុរាវប្រែជាគ្រីស្តាល់ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយ។ ខ្សែភាពយន្តដែលបានរៀបចំដោយបច្ចេកវិទ្យានេះគឺបន្ទះឈើត្រូវគ្នាទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយជារឿយៗត្រូវបានគេប្រើដើម្បីរៀបចំសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor ចម្រុះ។
4. ដំណាក់កាលចំហាយទឹក (VPE)៖
ប្រើប្រតិកម្មឧស្ម័នដើម្បីអនុវត្តប្រតិកម្មគីមីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលត្រូវការ។ បច្ចេកវិទ្យានេះគឺសមរម្យសម្រាប់ការរៀបចំផ្ទៃធំ ខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ហើយជាពិសេសគឺពូកែក្នុងការរៀបចំសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor សមាសធាតុ។
5. អេពីតាស៊ីនៃធ្នឹមគីមី (CBE)៖
បច្ចេកវិទ្យានេះប្រើធ្នឹមគីមីដើម្បីពង្រីកខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់ ដែលត្រូវបានសម្រេចដោយការគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវអត្រាលំហូរនៃធ្នឹមគីមី និងដង់ស៊ីតេនៃធ្នឹម។ វាមានកម្មវិធីធំទូលាយក្នុងការរៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
6. អេពីតាស៊ី ស្រទាប់អាតូមិក (ALE):
ដោយប្រើបច្ចេកវិជ្ជានៃការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូម វត្ថុធាតុខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលត្រូវការត្រូវបានដាក់ស្រទាប់ដោយស្រទាប់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ។ បច្ចេកវិទ្យានេះអាចរៀបចំផ្ទៃធំ និងគុណភាពខ្ពស់ ខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយ ហើយត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ដើម្បីរៀបចំសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor ចម្រុះ។
7. រលាកជញ្ជាំងក្តៅ (HWE):
តាមរយៈកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រតិកម្មឧស្ម័នត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយ។ បច្ចេកវិទ្យានេះក៏សមរម្យសម្រាប់ការរៀបចំផ្ទៃធំ ខ្សែភាពយន្តគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ហើយជាពិសេសត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការរៀបចំសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor សមាសធាតុ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-០៦-២០២៤