ការទម្លាក់ចំហាយគីមីនៃលោហធាតុ-សរីរាង្គ (MOCVD) គឺជាដំណើរការដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក ដែលខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានគុណភាពខ្ពស់ត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ សមាសធាតុសំខាន់នៃដំណើរការ MOCVD គឺឧបករណ៍បំប្លែង ដែលជាធាតុសំខាន់ដែលដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធានានូវឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានផលិត។
តើ Susceptor ជាអ្វី? ឧបករណ៍ទប់គឺជាសមាសធាតុឯកទេសដែលប្រើក្នុងដំណើរការ MOCVD ដើម្បីគាំទ្រ និងកំដៅស្រទាប់ខាងក្រោមដែលខ្សែភាពយន្តស្តើងត្រូវបានដាក់។ វាបម្រើមុខងារជាច្រើន រួមទាំងការស្រូបថាមពលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច បំប្លែងវាទៅជាកំដៅ និងចែកចាយកំដៅនេះឱ្យស្មើភាពគ្នានៅទូទាំងស្រទាប់ខាងក្រោម។ កំដៅឯកសណ្ឋាននេះគឺចាំបាច់សម្រាប់ការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តដូចគ្នាជាមួយនឹងកម្រាស់ និងសមាសភាពច្បាស់លាស់។
ប្រភេទអ្នកទទួលរង៖
1. Graphite Susceptors: ជាធម្មតាស្រោបដោយស្រទាប់ការពារដូចជាស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)ឧបករណ៍ទប់ក្រាហ្វិចត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងស្ថេរភាព។ នេះ។ថ្នាំកូត SiCផ្តល់នូវផ្ទៃរឹង និងការពារដែលទប់ទល់នឹងការ corrosion និងការរិចរិលនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. ឧបករណ៍ទប់ស៊ីលីកុនកាបូន (SiC)៖ ទាំងនេះត្រូវបានផលិតចេញពី SiC ទាំងស្រុង ដែលផ្តល់នូវស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងធន់នឹងការពាក់ និងរហែក។ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា SiCជាពិសេសគឺសមរម្យសម្រាប់ដំណើរការដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិស្ថានដែលច្រេះ។
ម៉េចជនជាប់ចោទធ្វើការនៅ MOCVD
នៅក្នុងដំណើរការ MOCVD សារធាតុ precursors ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះ reactor ដែលពួកគេ decompose និងប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ឧបករណ៍ផ្ទុកដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ដោយធានាថាស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានកំដៅស្មើៗគ្នា ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការសម្រេចបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តស្របគ្នាលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងមូល។ សម្ភារៈ និងការរចនារបស់ឧបករណ៍ផ្ទុកត្រូវបានជ្រើសរើសយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន ដើម្បីផ្គូផ្គងតម្រូវការជាក់លាក់នៃដំណើរការដាក់ប្រាក់ ដូចជាជួរសីតុណ្ហភាព និងភាពឆបគ្នានៃសារធាតុគីមី។
អត្ថប្រយោជន៍នៃការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ផ្ទុកគុណភាពខ្ពស់:
• គុណភាពខ្សែភាពយន្តដែលប្រសើរឡើង៖ តាមរយៈការផ្តល់នូវការចែកចាយកំដៅឯកសណ្ឋាន ឧបករណ៏ជួយក្នុងការសម្រេចបាននូវខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ និងសមាសភាពស្របគ្នា ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការឧបករណ៍ semiconductor ។
• បង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ៖ ឧបករណ៍ផ្ទុកដែលមានគុណភាពខ្ពស់ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពរួមនៃដំណើរការ MOCVD ដោយកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃពិការភាព និងបង្កើនទិន្នផលនៃខ្សែភាពយន្តដែលអាចប្រើបាន។
• ភាពជាប់បានយូរ និងភាពអាចជឿជាក់បាន៖ Susceptors ផលិតពីវត្ថុធាតុប្រើប្រាស់បានយូរដូចជា SiC ធានានូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង និងកាត់បន្ថយការចំណាយលើការថែទាំ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖ ឧបករណ៍ផ្ទុកគឺជាធាតុផ្សំដែលមិនអាចខ្វះបាននៅក្នុងដំណើរការ MOCVD ដែលជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាព និងប្រសិទ្ធភាពនៃស្រទាប់ស្តើង។ តាមរយៈការជ្រើសរើសសម្ភារៈ និងការរចនាត្រឹមត្រូវ អ្នកផលិត semiconductor អាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការរបស់ពួកគេ ដែលនាំឱ្យដំណើរការឧបករណ៍កាន់តែប្រសើរឡើង និងតម្លៃផលិតកម្មទាប។ នៅពេលដែលតម្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៅតែបន្តកើនឡើង សារៈសំខាន់នៃ MOCVD susc ដែលមានគុណភាពខ្ពស់
ពេលវេលាផ្សាយ៖ សីហា-១២-២០២៤