នេះ។MOCVDវិធីសាស្រ្តគឺជាដំណើរការមួយដែលមានស្ថេរភាពបំផុតដែលបច្ចុប្បន្នត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងឧស្សាហកម្មនេះដើម្បីពង្រីកខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដូចជា InGaN epilayers ដំណាក់កាលតែមួយ វត្ថុធាតុដើម III-N និងខ្សែភាពយន្ត semiconductor ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធអណ្តូងរ៉ែច្រើន ហើយមានសារៈសំខាន់យ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុង ការផលិតឧបករណ៍ semiconductor និង optoelectronic ។
នេះ។SiC coating susceptor MOCVDគឺជាអ្នកកាន់ wafer ឯកទេស coated ជាមួយ silicon carbide (SiC) សម្រាប់epitaxial ការលូតលាស់នៃដំណើរការបំភាយឧស្ម័នសរីរាង្គលោហៈ (MOCVD) ។
ថ្នាំកូត SiC មានភាពធន់ទ្រាំនឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់ MOCVD susceptors ដែលប្រើក្នុងតម្រូវការដំណើរការលូតលាស់ epitaxial ។
សមាសធាតុសំខាន់នៃដំណើរការ MOCVD គឺឧបករណ៍ទប់ ដែលជាធាតុសំខាន់ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលបានផលិត។
តើអ្វីជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា? ឧបករណ៍ទប់គឺជាសមាសធាតុឯកទេសដែលប្រើក្នុងដំណើរការ MOCVD ដើម្បីទ្រទ្រង់ និងកំដៅស្រទាប់ខាងក្រោមដែលខ្សែភាពយន្តស្តើងត្រូវបានដាក់។ វាមានមុខងារជាច្រើន រួមទាំងការស្រូបថាមពលអេឡិចត្រូម៉ាញេទិច បំប្លែងវាទៅជាកំដៅ និងចែកចាយកំដៅរាបស្មើនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ កំដៅឯកសណ្ឋាននេះគឺចាំបាច់សម្រាប់ការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងឯកសណ្ឋានជាមួយនឹងកម្រាស់ និងសមាសភាពច្បាស់លាស់។
ប្រភេទឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា៖
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors ជារឿយៗត្រូវបានស្រោបដោយស្រទាប់ការពារដូចជាស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ចរន្តកំដៅ និងស្ថេរភាពខ្ពស់របស់វា។ នេះ។ថ្នាំកូត SiCផ្តល់នូវផ្ទៃរឹង និងការពារដែលទប់ទល់នឹងការ corrosion និងការរិចរិលនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. ឧបករណ៍ទប់ស៊ីលីកុន carbide (SiC)៖ ឧបករណ៍ទប់ទាំងនេះត្រូវបានផលិតចេញពី SiC ទាំងស្រុង និងមានស្ថេរភាពកម្ដៅ និងធន់នឹងការពាក់។ SiC susceptors គឺសមរម្យជាពិសេសសម្រាប់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិស្ថានដែលច្រេះ។
របៀបដែលអ្នកទទួលបន្ទុកធ្វើការនៅក្នុង MOCVD:
នៅក្នុងដំណើរការ MOCVD សារធាតុមុនត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម ដែលពួកវារលាយ និងប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ឧបករណ៍ផ្ទុកដើរតួយ៉ាងសំខាន់ដោយធានាថាស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានកំដៅស្មើៗគ្នា ដែលជាកត្តាសំខាន់ក្នុងការសម្រេចបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តជាប់គ្នានៅទូទាំងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងមូល។ សម្ភារៈ និងការរចនារបស់ឧបករណ៍ផ្ទុកត្រូវបានជ្រើសរើសយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់នៃដំណើរការដាក់ប្រាក់ ដូចជាជួរសីតុណ្ហភាព និងភាពឆបគ្នានៃសារធាតុគីមី។
អត្ថប្រយោជន៍នៃការប្រើឧបករណ៍ធន់នឹងគុណភាពខ្ពស់៖
• គុណភាពខ្សែភាពយន្តដែលប្រសើរឡើង៖ តាមរយៈការផ្តល់ការចែកចាយកំដៅឯកសណ្ឋាន ឧបករណ៍ទប់ជួយឱ្យសម្រេចបាននូវខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ និងសមាសភាពស្របគ្នា ដែលមានសារៈសំខាន់ចំពោះដំណើរការនៃឧបករណ៍ semiconductor ។
• ប្រសិទ្ធភាពដំណើរការប្រសើរឡើង៖ ឧបករណ៍ផ្ទុកដែលមានគុណភាពខ្ពស់បង្កើនប្រសិទ្ធភាពរួមនៃដំណើរការ MOCVD ដោយកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃពិការភាព និងបង្កើនទិន្នផលនៃខ្សែភាពយន្តដែលអាចប្រើបាន។
• អាយុកាល និងភាពអាចជឿជាក់បាន៖ ឧបករណ៍ផ្ទុកដែលផលិតពីវត្ថុធាតុប្រើប្រាស់បានយូរ ដូចជា SiC ធានាបាននូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង និងកាត់បន្ថយការចំណាយលើការថែទាំ។
ឧបករណ៍ផ្ទុកគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់នៅក្នុងដំណើរការ MOCVD ហើយប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាព និងប្រសិទ្ធភាពនៃស្រទាប់ស្តើង។ សម្រាប់ព័ត៌មានបន្ថែមអំពីទំហំដែលអាចប្រើបាន ប្រដាប់បន្តពូជ MOCVD និងតម្លៃ សូមកុំស្ទាក់ស្ទើរក្នុងការទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ។ វិស្វកររបស់យើងនឹងរីករាយក្នុងការផ្តល់យោបល់ដល់អ្នកអំពីសម្ភារៈដែលសមស្រប និងឆ្លើយសំណួររបស់អ្នកទាំងអស់។
ទូរស័ព្ទ៖ +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
ពេលវេលាផ្សាយ៖ សីហា-១២-២០២៤