Rolling សំដៅលើដំណើរការនៃការកិនអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅនៃដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយស៊ីលីកុនចូលទៅក្នុងដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយនៃអង្កត់ផ្ចិតដែលត្រូវការ ដោយប្រើកង់កិនពេជ្រ ហើយកិនចេញនូវផ្ទៃយោងគែមរាបស្មើ ឬចង្អូរទីតាំងនៃដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយ។
ផ្ទៃអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅនៃដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយដែលរៀបចំដោយចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយមិនរលោងនិងសំប៉ែតទេហើយអង្កត់ផ្ចិតរបស់វាធំជាងអង្កត់ផ្ចិតនៃស៊ីលីកុន wafer ដែលប្រើក្នុងកម្មវិធីចុងក្រោយ។ អង្កត់ផ្ចិតដំបងដែលត្រូវការអាចទទួលបានដោយការរមៀលអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅ។
ម៉ាស៊ីនកិនរំកិលមានមុខងារកិនផ្ទៃយោងគែមសំប៉ែត ឬចង្អូរទីតាំងនៃដំបងគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន ពោលគឺដើម្បីអនុវត្តការធ្វើតេស្តទិសដៅលើដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយជាមួយនឹងអង្កត់ផ្ចិតដែលត្រូវការ។ នៅលើឧបករណ៍កិនរំកិលដូចគ្នា ផ្ទៃយោងគែមរាបស្មើ ឬចង្អូរទីតាំងនៃដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយគឺដី។ ជាទូទៅ កំណាត់គ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានអង្កត់ផ្ចិតតិចជាង 200 មីលីម៉ែត្រ ប្រើផ្ទៃយោងគែមរាបស្មើ ហើយកំណាត់គ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 200 មីលីម៉ែត្រ និងខាងលើប្រើចង្អូរដាក់ទីតាំង។ កំណាត់គ្រីស្តាល់ទោលដែលមានអង្កត់ផ្ចិត 200 មីលីម៉ែត្រក៏អាចផលិតបានជាមួយនឹងផ្ទៃសំប៉ែតយោងតាមតម្រូវការ។ គោលបំណងនៃផ្ទៃយោងការតំរង់ទិសដំបងគ្រីស្តាល់តែមួយគឺដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃប្រតិបត្តិការទីតាំងដោយស្វ័យប្រវត្តិនៃឧបករណ៍ដំណើរការនៅក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ ដើម្បីបង្ហាញពីការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់ និងប្រភេទចរន្តនៃស៊ីលីកុន wafer ជាដើម ដើម្បីជួយសម្រួលដល់ការគ្រប់គ្រងផលិតកម្ម។ គែមទីតាំងសំខាន់ ឬចង្អូរទីតាំងគឺកាត់កែងទៅនឹងទិស <110>។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការវេចខ្ចប់បន្ទះសៀគ្វី ដំណើរការឌីសអាចបណ្តាលឱ្យមានការបែកធ្លាយធម្មជាតិនៃ wafer ហើយទីតាំងក៏អាចការពារការបង្កើតបំណែកផងដែរ។
គោលបំណងសំខាន់នៃដំណើរការមូលរួមមានៈ ការកែលម្អគុណភាពផ្ទៃ៖ ការបង្គត់អាចយកចេញនូវស្នាមប្រេះ និងភាពមិនស្មើគ្នាលើផ្ទៃនៃ wafers ស៊ីលីកុន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពរលោងនៃផ្ទៃនៃ silicon wafers ដែលមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ដំណើរការ photolithography និង etching ជាបន្តបន្ទាប់។ កាត់បន្ថយភាពតានតឹង៖ ភាពតានតឹងអាចនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងកំឡុងពេលកាត់និងការកែច្នៃស៊ីលីកុន wafers។ ការបង្គត់អាចជួយបញ្ចេញភាពតានតឹងទាំងនេះ និងការពារកុំឱ្យស៊ីលីកុន wafers បែកក្នុងដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។ ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវកម្លាំងមេកានិចនៃស៊ីលីកុន wafers: ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការជុំគែមនៃ wafers ស៊ីលីកុននឹងកាន់តែរលូនដែលជួយធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវកម្លាំងមេកានិចនៃ wafers ស៊ីលីកូននិងកាត់បន្ថយការខូចខាតក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូននិងការប្រើប្រាស់។ ការធានានូវភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ៖ តាមរយៈការបង្គត់ ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រនៃ wafers ស៊ីលីកុនអាចត្រូវបានធានា ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍ semiconductor ។ ការកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីនៃស៊ីលីកុន wafers: ដំណើរការគែមនៃ wafers ស៊ីលីកុនមានឥទ្ធិពលសំខាន់លើលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីរបស់ពួកគេ។ ការបង្គត់អាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីនៃស៊ីលីកុន wafers ដូចជាកាត់បន្ថយចរន្តលេចធ្លាយ។ សោភ័ណភាព៖ គែមរបស់ស៊ីលីកុន wafers មានភាពរលោង និងស្រស់ស្អាតជាងមុនបន្ទាប់ពីការបង្គត់ ដែលចាំបាច់សម្រាប់សេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធីមួយចំនួនផងដែរ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ៣០ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៤