ការណែនាំអំពីក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer
កាតាហ្គោរីផលិតផល
▶ប្រព័ន្ធដឹកជញ្ជូន Wafer សម្រាប់ដំណើរការ PECVD & TALOX
• PECVD & TALOX Graphite Boat (M4~M12)
• ទូក SM-បញ្ឈរ (M4, M6)
• Implant & shower Graphite Part (M4~M6)
• ថាស C/C & ថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច
• ដែក RIE-Tray & Ceramic Coating
• ការផ្សាភ្ជាប់សុញ្ញកាស៖ O-Ring & SQ-Ring
▶ដំណើរការផ្ទេរវាយនភាព និងសើម
• LSC H-Carrier ឬកាសែត (M4~M12)
• LSC V-Carrier ឬ cassette (M4~M12)
• ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ASC ឬកាសែត (M4, M6)
• ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន និងប្រអប់ផ្ទុក W/F (M4~M12)
• Transport Wheel (Roller) Series
▶ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនថាមពលព្រះអាទិត្យ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែក
• ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC ឬកាសែត (M4~M12)
• ទស្សនាវដ្តី (ជាមួយខ្សែក្រវ៉ាត់)
ទូកក្រាហ្វិច (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ទូកក្រាហ្វិច (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
ទូកក្រាហ្វិច (H-Type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ទូកក្រាហ្វិច (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ទូកក្រាហ្វិច (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
ថាស C/C ឬ CARRIER (M4~M10)
ថាស C/C ឬ CARRIER (M4~M10)
ទូកបញ្ឈរ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ASC (~M6)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC (~M12)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC (~M12)
GRAPHITE-BOAT (M12)
ប្រព័ន្ធដឹកជញ្ជូន Wafer សម្រាប់ដំណើរការ PECVD
▶ ទូកក្រាហ្វិច (CT-Designed) ដំណើរការ M10/M12
• គំនិតរចនាពិសេស
▶ ទូកក្រាហ្វិច (CT-Designed) ដំណើរការ M4/M6
▶ គ្រឿងបន្លាស់ទូក
▶ ទូកបញ្ឈរ-161.7mm WAFER
▶ ទូកបញ្ឈរ-166mm WAFER
▶ ទូកបញ្ឈរ-161.7mm, 166mm WAFER
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនថាមពលព្រះអាទិត្យ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែក TRC
ប្រភេទ៖ ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម
ទំហំ WAFER : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 មម ⑥ 210 × 210 មម
ការប្រើប្រាស់: យក (កាស)
សមត្ថភាព: 100 សន្លឹក
PITCH : 4.76MM / 5.953mm / 6.35mm
វិមាត្រ៖ ប្រហែល ៥៥៩ × ២២០ × ២២០ ម។
ប្រហែល 712 × 260 × 260 មម
គុណសម្បត្តិ៖ បរិយាកាស
សម្ភារៈ: អណ្តាតភ្លើង, របារចំហៀង - អាលុយមីញ៉ូម (anodizing)
Side PLATE-POM (ប្រឆាំងស្ទិក)
គម្របបាតរបារ-EPDM/PU/VITON (ASE)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC-Metal (បន្ទាត់អ្នកប្រើប្រាស់)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC-Metal (បន្ទាត់អ្នកប្រើប្រាស់)
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន TRC-Metal (បន្ទាត់អ្នកប្រើប្រាស់)
ចានផ្កាឈូក និងដាក់បញ្ចូល, នាវា
