កាសែត PFA

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

កាសែត PFA- ទទួលបានបទពិសោធន៍ធន់នឹងសារធាតុគីមី និងភាពធន់ដែលមិនធ្លាប់មានជាមួយ PFA Cassette របស់ Semicera ដែលជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អសម្រាប់ការគ្រប់គ្រង wafer ប្រកបដោយសុវត្ថិភាព និងប្រសិទ្ធភាពក្នុងការផលិត semiconductor ។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

Semiceraមានសេចក្តីរីករាយក្នុងការផ្តល់ជូនកាសែត PFAជាជម្រើសដ៏ប្រណិតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រង wafer នៅក្នុងបរិស្ថានដែលធន់នឹងសារធាតុគីមី និងភាពធន់គឺសំខាន់បំផុត។ ផលិតពីវត្ថុធាតុ Perfluoroalkoxy (PFA) ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ កាសែតនេះត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌតម្រូវការបំផុតក្នុងការផលិតសារធាតុ semiconductor ដោយធានាបាននូវសុវត្ថិភាព និងភាពសុចរិតនៃក្រដាស់បស់អ្នក។

ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន។នេះ។កាសែត PFAត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីផ្តល់នូវភាពធន់ខ្ពស់ចំពោះសារធាតុគីមីជាច្រើន ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងអាស៊ីតឈ្លានពាន សារធាតុរំលាយ និងសារធាតុគីមីធ្ងន់ធ្ងរផ្សេងទៀត។ ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏រឹងមាំនេះធានាថាកាសែតនៅតែនៅដដែល និងមានមុខងារសូម្បីតែនៅក្នុងបរិស្ថានដែលច្រេះខ្លាំងបំផុត ដោយហេតុនេះអាចពន្យារអាយុជីវិតរបស់វា និងកាត់បន្ថយតម្រូវការសម្រាប់ការជំនួសញឹកញាប់។

សំណង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។របស់ Semiceraកាសែត PFAត្រូវបានផលិតចេញពីសម្ភារៈ PFA សុទ្ធ ដែលមានសារៈសំខាន់ក្នុងការការពារការចម្លងរោគក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ wafer ។ សំណង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នេះកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបង្កើតភាគល្អិត និងការលេចធ្លាយសារធាតុគីមី ដោយធានាថា wafers របស់អ្នកត្រូវបានការពារពីភាពមិនបរិសុទ្ធដែលអាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពរបស់វា។

បង្កើនភាពធន់ និងការអនុវត្តរចនាឡើងសម្រាប់ភាពធន់កាសែត PFAរក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធរបស់វានៅក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្លាំង និងលក្ខខណ្ឌដំណើរការយ៉ាងម៉ត់ចត់។ មិនថាត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឬទទួលរងការដោះស្រាយម្តងហើយម្តងទៀតនោះទេ កាសែតនេះរក្សារូបរាង និងដំណើរការរបស់វា ដោយផ្តល់នូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មដែលត្រូវការ។

វិស្វកម្មភាពជាក់លាក់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងសុវត្ថិភាពនេះ។Semicera PFA Cassetteមានលក្ខណៈពិសេសវិស្វកម្មច្បាស់លាស់ដែលធានាសុវត្ថិភាព និងស្ថេរភាពនៃការគ្រប់គ្រង wafer ។ រន្ធដោតនីមួយៗត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីដាក់ wafers ឱ្យនៅនឹងកន្លែងដោយសុវត្ថិភាព ការពារចលនា ឬការផ្លាស់ប្តូរដែលអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាត។ វិស្វកម្មភាពជាក់លាក់នេះគាំទ្រការដាក់ wafer ស្រប និងត្រឹមត្រូវ ដែលរួមចំណែកដល់ប្រសិទ្ធភាពដំណើរការទាំងមូល។

កម្មវិធីដែលអាចប្រើប្រាស់បានឆ្លងកាត់ដំណើរការសូមអរគុណដល់លក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដ៏ប្រសើររបស់វា, អេកាសែត PFAគឺអាចប្រើប្រាស់បានគ្រប់ដំណាក់កាលនៃការផលិត semiconductor ។ វាស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ការ etching សើម ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) និងដំណើរការផ្សេងទៀតដែលពាក់ព័ន្ធនឹងបរិស្ថានគីមីដ៏អាក្រក់។ ការសម្របខ្លួនរបស់វាធ្វើឱ្យវាជាឧបករណ៍សំខាន់ក្នុងការរក្សាភាពសុចរិតនៃដំណើរការ និងគុណភាព wafer ។

ការប្តេជ្ញាចិត្តចំពោះគុណភាព និងការច្នៃប្រឌិតនៅ Semicera យើងប្តេជ្ញាផ្តល់ផលិតផលដែលបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មខ្ពស់បំផុត។ នេះ។កាសែត PFAធ្វើជាគំរូដល់ការប្តេជ្ញាចិត្តនេះ ដោយផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយដែលអាចទុកចិត្តបាន ដែលរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងដំណើរការផលិតរបស់អ្នក។ កាសែតនីមួយៗឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរឹង ដើម្បីធានាថាវាបំពេញតាមលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យនៃការអនុវត្តយ៉ាងម៉ត់ចត់របស់យើង ដោយផ្តល់នូវភាពល្អឥតខ្ចោះដែលអ្នករំពឹងទុកពី Semicera ។

ធាតុ

ផលិតកម្ម

ស្រាវជ្រាវ

អត់ចេះសោះ

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រគ្រីស្តាល់

ពហុប្រភេទ

4H

កំហុស​ទិស​ផ្ទៃ

<11-20>4±0.15°

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី

សារធាតុពុល

n-ប្រភេទអាសូត

ភាពធន់

0.015-0.025ohm ·cm

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិក

អង្កត់ផ្ចិត

150.0 ± 0.2 ម។

កម្រាស់

350 ± 25 μm

ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម

[1-100]±5°

ប្រវែងផ្ទះល្វែងបឋម

47.5 ± 1.5 ម។

ផ្ទះល្វែងបន្ទាប់បន្សំ

គ្មាន

ធីធីវី

≤5μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

ធ្នូ

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35μm

≤45μm

≤55μm

ផ្នែកខាងមុខ (Si-face) គ្រើម (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

រចនាសម្ព័ន្ធ

ដង់ស៊ីតេមីក្រូ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ

≤5E10អាតូម/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

គុណភាពផ្នែកខាងមុខ

ខាងមុខ

Si

ការបញ្ចប់ផ្ទៃ

Si-face CMP

ភាគល្អិត

≤60ea/wafer (ទំហំ≥0.3μm)

NA

កោស

≤5ea/mm ប្រវែងរួម ≤ អង្កត់ផ្ចិត

ប្រវែងសរុប≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

សំបកក្រូច / រណ្តៅ / ស្នាមប្រឡាក់ / ស្នាមប្រេះ / ស្នាមប្រេះ / ការចម្លងរោគ

គ្មាន

NA

បន្ទះសៀគ្វីគែម / ចូលបន្ទាត់ / បាក់ឆ្អឹង / ចានឆកោន

គ្មាន

តំបន់ពហុប្រភេទ

គ្មាន

តំបន់បង្គរ≤20%

តំបន់បង្គរ≤30%

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងមុខ

គ្មាន

គុណភាពខាងក្រោយ

ការបញ្ចប់ខាងក្រោយ

C-មុខ CMP

កោស

≤5ea/mm, ប្រវែងបង្គុំ≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

ពិការភាពផ្នែកខាងក្រោយ (បន្ទះសៀគ្វី/ការចូលបន្ទាត់)

គ្មាន

ភាពរដុបនៃខ្នង

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងក្រោយ

1 មម (ពីគែមខាងលើ)

គែម

គែម

Chamfer

ការវេចខ្ចប់

ការវេចខ្ចប់

Epi-រួចរាល់ជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់សុញ្ញកាស

ការវេចខ្ចប់កាសែតច្រើនប្រភេទ

*ចំណាំ៖ "NA" មានន័យថាគ្មានសំណើ ធាតុដែលមិនបានរៀបរាប់អាចសំដៅលើ SEMI-STD ។

បច្ចេកវិទ្យា_1_2_ទំហំ
SiC wafers

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖