ស៊ីមខុនឌុចទ័រ

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ស៊ីមខុនឌុចទ័រ- ការពារ និងដឹកជញ្ជូន wafers របស់អ្នកជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ដោយប្រើ Semicera's Semiconductor Cassette ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីធានាសុវត្ថិភាព និងប្រសិទ្ធភាពល្អបំផុតនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

Semiceraណែនាំស៊ីមខុនឌុចទ័រដែលជាឧបករណ៍សំខាន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រង wafers ប្រកបដោយសុវត្ថិភាព និងមានប្រសិទ្ធិភាពពេញមួយដំណើរការផលិត semiconductor ។ បង្កើតដោយភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ កាសែតនេះធានាថា wafers របស់អ្នកត្រូវបានរក្សាទុក និងដឹកជញ្ជូនដោយសុវត្ថិភាព ដោយរក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវរបស់ពួកគេនៅគ្រប់ដំណាក់កាល។

ការការពារ និងយូរអង្វែងនេះ។ស៊ីមខុនឌុចទ័រពី Semicera ត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីផ្តល់ការការពារអតិបរមាដល់ wafers របស់អ្នក។ សាងសង់ឡើងពីវត្ថុធាតុដើមដ៏រឹងមាំ និងធន់នឹងការចម្លងរោគ វាការពារ wafers របស់អ្នកពីការខូចខាតដែលអាចកើតមាន និងការចម្លងរោគ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់បរិស្ថានបន្ទប់ស្អាត។ ការរចនារបស់កាសែតនេះកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត និងធានាថា wafers នៅតែមិនប៉ះ និងមានសុវត្ថិភាពក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ និងដឹកជញ្ជូន។

ការរចនាប្រសើរឡើងសម្រាប់ការអនុវត្តល្អបំផុតរបស់ Semiceraស៊ីមខុនឌុចទ័របំពាក់នូវការរចនាវិស្វកម្មយ៉ាងល្អិតល្អន់ដែលផ្តល់នូវការតម្រឹម wafer ច្បាស់លាស់ កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការដាក់មិនត្រឹមត្រូវ និងការខូចខាតមេកានិច។ រន្ធដោតកាសត្រូវបានដាក់ចន្លោះយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះដើម្បីកាន់ wafer នីមួយៗដោយសុវត្ថិភាព ការពារចលនាណាមួយដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានស្នាម ឬភាពមិនល្អឥតខ្ចោះផ្សេងទៀត។

Versatility និងភាពឆបគ្នា។នេះ។ស៊ីមខុនឌុចទ័រមានភាពចម្រុះ និងត្រូវគ្នាជាមួយនឹងទំហំ wafer ផ្សេងៗ ដែលធ្វើឱ្យវាសមរម្យសម្រាប់ដំណាក់កាលផ្សេងគ្នានៃការផលិត semiconductor ។ មិនថាអ្នកកំពុងធ្វើការជាមួយវិមាត្រ wafer ស្តង់ដារ ឬផ្ទាល់ខ្លួនទេ កាសែតនេះសម្របតាមតម្រូវការរបស់អ្នក ដោយផ្តល់នូវភាពបត់បែនក្នុងដំណើរការផលិតរបស់អ្នក។

ការគ្រប់គ្រង និងប្រសិទ្ធភាពរចនាជាមួយនឹងអ្នកប្រើប្រាស់ក្នុងចិត្ត, theកាសែត Semicera Semiconductor Cassetteមានទម្ងន់ស្រាល និងងាយស្រួលក្នុងការគ្រប់គ្រង ដែលអនុញ្ញាតឱ្យផ្ទុក និងផ្ទុកបានលឿន និងមានប្រសិទ្ធភាព។ ការរចនា ergonomic នេះមិនត្រឹមតែជួយសន្សំសំចៃពេលវេលាប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃកំហុសរបស់មនុស្ស ដោយធានានូវប្រតិបត្តិការរលូននៅក្នុងកន្លែងរបស់អ្នក។

អនុលោមតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មSemicera ធានាថាស៊ីមខុនឌុចទ័របំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មខ្ពស់បំផុតសម្រាប់គុណភាព និងភាពជឿជាក់។ កាសែតនីមួយៗឆ្លងកាត់ការធ្វើតេស្តយ៉ាងម៉ត់ចត់ ដើម្បីធានាថាវាដំណើរការបានជាប់លាប់ក្រោមលក្ខខណ្ឌទាមទារនៃការផលិត semiconductor ។ ការយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះគុណភាពនេះធានាថា wafers របស់អ្នកតែងតែត្រូវបានការពារ ដោយរក្សាបាននូវស្តង់ដារខ្ពស់ដែលត្រូវការនៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ។

ធាតុ

ផលិតកម្ម

ស្រាវជ្រាវ

អត់ចេះសោះ

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រគ្រីស្តាល់

ពហុប្រភេទ

4H

កំហុស​ទិស​ផ្ទៃ

<11-20>4±0.15°

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រអគ្គិសនី

សារធាតុពុល

n-ប្រភេទអាសូត

ភាពធន់

0.015-0.025ohm ·cm

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រមេកានិក

អង្កត់ផ្ចិត

150.0 ± 0.2 ម។

កម្រាស់

350 ± 25 μm

ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម

[1-100]±5°

ប្រវែងផ្ទះល្វែងបឋម

47.5 ± 1.5 ម។

ផ្ទះល្វែងបន្ទាប់បន្សំ

គ្មាន

ធីធីវី

≤5μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

ធ្នូ

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35μm

≤45μm

≤55μm

ផ្នែកខាងមុខ (Si-face) គ្រើម (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

រចនាសម្ព័ន្ធ

ដង់ស៊ីតេមីក្រូ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ

≤5E10អាតូម/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

គុណភាពផ្នែកខាងមុខ

ខាងមុខ

Si

ការបញ្ចប់ផ្ទៃ

Si-face CMP

ភាគល្អិត

≤60ea/wafer (ទំហំ≥0.3μm)

NA

កោស

≤5ea/mm ប្រវែងរួម ≤ អង្កត់ផ្ចិត

ប្រវែងសរុប≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

សំបកក្រូច / រណ្តៅ / ស្នាមប្រឡាក់ / ស្នាមប្រេះ / ស្នាមប្រេះ / ការចម្លងរោគ

គ្មាន

NA

បន្ទះសៀគ្វីគែម / ចូលបន្ទាត់ / បាក់ឆ្អឹង / ចានឆកោន

គ្មាន

តំបន់ពហុប្រភេទ

គ្មាន

តំបន់បង្គរ≤20%

តំបន់បង្គរ≤30%

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងមុខ

គ្មាន

គុណភាពខាងក្រោយ

ការបញ្ចប់ខាងក្រោយ

C-មុខ CMP

កោស

≤5ea/mm, ប្រវែងបង្គុំ≤2*អង្កត់ផ្ចិត

NA

ពិការភាពផ្នែកខាងក្រោយ (បន្ទះសៀគ្វី/ការចូលបន្ទាត់)

គ្មាន

ភាពរដុបនៃខ្នង

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ការសម្គាល់ឡាស៊ែរខាងក្រោយ

1 មម (ពីគែមខាងលើ)

គែម

គែម

Chamfer

ការវេចខ្ចប់

ការវេចខ្ចប់

Epi-រួចរាល់ជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់សុញ្ញកាស

ការវេចខ្ចប់កាសែតច្រើនប្រភេទ

*ចំណាំ៖ "NA" មានន័យថាគ្មានសំណើ ធាតុដែលមិនបានរៀបរាប់អាចសំដៅលើ SEMI-STD ។

បច្ចេកវិទ្យា_1_2_ទំហំ
SiC wafers

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖