ការពិពណ៌នា
SiC Coated Graphite Base Susceptorsសម្រាប់ MOCVD ពី semicera ត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីផ្តល់នូវការអនុវត្តពិសេសនៅក្នុងដំណើរការលូតលាស់ epitaxial ។ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចធានានូវស្ថេរភាព ភាពធន់ និងចរន្តកំដៅដ៏ល្អប្រសើរក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ MOCVD (ការទម្លាក់ចំហាយគីមីសរីរាង្គលោហៈ) ។ ដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យា susceptor ប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិតរបស់ semicera អ្នកអាចសម្រេចបាននូវភាពជាក់លាក់ និងប្រសិទ្ធភាពកាន់តែប្រសើរឡើងនៅក្នុងស៊ីអ៊ីភីតាស៊ីនិងSiC Epitaxyកម្មវិធី។
ទាំងនេះMOCVD Susceptorsត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីគាំទ្រដល់ជួរនៃសមាសធាតុ semiconductor សំខាន់ៗដូចជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន PSS Etching, ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ICP Etching, និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន RTPដែលធ្វើឱ្យពួកវាមានភាពចម្រុះសម្រាប់ការងារ etching និង epitaxial ផ្សេងៗ។ ការប្ដេជ្ញាចិត្តរបស់ Semicera ចំពោះស្តង់ដារខ្ពស់ ធានាថា ឧបករណ៍ផ្ទុកទាំងនេះ បំពេញតាមតម្រូវការយ៉ាងម៉ត់ចត់នៃផលិតកម្ម semiconductor ទំនើប។
សមស្របសម្រាប់ការប្រើប្រាស់នៅក្នុងLED Epitaxialដំណើរការ Susceptor, Barrel Susceptor, និង Monocrystalline Silicon processes, susceptors ទាំងនេះអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងសម្រាប់ទំហំ wafer ផ្សេងគ្នា រួមទាំងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ Pancake Susceptor ។ ពួកវាក៏មានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ក្នុងការគ្រប់គ្រងផ្នែក Photovoltaic ដែលធ្វើឱ្យពួកវាជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់ក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍កោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
លើសពីនេះទៀត SiC Coated Graphite Base Susceptors សម្រាប់ MOCVD ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ GaN នៅលើ SiC Epitaxy ដោយផ្តល់នូវភាពឆបគ្នាខ្ពស់ជាមួយនឹងសម្ភារៈ semiconductor កម្រិតខ្ពស់។ មិនថាអ្នកកំពុងផ្តោតលើការកែលម្អទិន្នផល ឬការបង្កើនគុណភាពនៃការលូតលាស់ epitaxial ទេ សារធាតុចិញ្ចឹមរបស់ semicera ផ្តល់នូវភាពជឿជាក់ និងដំណើរការដែលត្រូវការសម្រាប់ភាពជោគជ័យនៅក្នុងឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។
លក្ខណៈពិសេសចម្បង
1 .ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ SiC coated graphite
2. ភាពធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ & ឯកសណ្ឋានកម្ដៅ
3. ផាកពិន័យស្រោបគ្រីស្តាល់ SiCសម្រាប់ផ្ទៃរលោង
4. ធន់ខ្ពស់ប្រឆាំងនឹងការសម្អាតគីមី
លក្ខណៈបច្ចេកទេសសំខាន់ៗនៃថ្នាំកូត CVD-SIC៖
SiC-CVD | ||
ដង់ស៊ីតេ | (g/cc) | ៣.២១ |
កម្លាំងបត់បែន | (Mpa) | ៤៧០ |
ការពង្រីកកំដៅ | (10-6/K) | 4 |
ចរន្តកំដៅ | (W/mK) | ៣០០ |
ការវេចខ្ចប់និងការដឹកជញ្ជូន
សមត្ថភាពផ្គត់ផ្គង់៖
10000 ដុំ / ដុំក្នុងមួយខែ
ការវេចខ្ចប់ និងដឹកជញ្ជូន៖
ការវេចខ្ចប់៖ ការវេចខ្ចប់ស្តង់ដារ និងរឹងមាំ
ថង់ប៉ូលី + ប្រអប់ + ប្រអប់ + ប៉ាឡែត
ច្រក៖
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
ពេលវេលានាំមុខ៖
បរិមាណ (បំណែក) | 1-1000 | > 1000 |
ប៉ាន់ស្មាន ពេលវេលា(ថ្ងៃ) | 30 | ដែលត្រូវចរចា |