ចិញ្ចៀនផ្ដោត SiC រឹង

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ចិញ្ចៀន SiC Etch Rings របស់ Semicera ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់កម្មវិធី etching semiconductor ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ជាមួយនឹងភាពធន់ និងភាពជាក់លាក់ពិសេស។ ផលិតពីស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (SiC) ចិញ្ចៀនឆ្លាក់នេះពូកែក្នុងការឆ្លាក់ប្លាស្មា ការឆ្លាក់ស្ងួត និងដំណើរការឆ្លាក់ wafer ។ ដំណើរការផលិតកម្រិតខ្ពស់របស់ Semicera ធានាថាចិញ្ចៀននេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ សូម្បីតែនៅក្នុងបរិយាកាសដែលទាមទារច្រើនបំផុតក៏ដោយ។ យើងទន្ទឹងរង់ចាំក្លាយជាដៃគូរយៈពេលវែងរបស់អ្នកនៅក្នុងប្រទេសចិន។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

Solid SiC Focus Ring ពី Semicera គឺជាសមាសធាតុឈានមុខគេដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់។ ផលិតពីភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។Silicon Carbide (SiC), ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍នេះគឺល្អសម្រាប់ជួរធំទូលាយនៃកម្មវិធីនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការ CVD SiCប្លាស្មា etching និងអាយ.ស៊ី.ភីRIE (ការភ្ជាប់អ៊ីយ៉ុងប្រតិកម្មប្លាស្មារួមបញ្ចូលគ្នា) ។ ត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ពិសេសរបស់វា ស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ និងភាពបរិសុទ្ធ វាធានានូវដំណើរការប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានភាពតានតឹងខ្ពស់។

នៅក្នុង semiconductorwaferដំណើរការ, Solid SiC Focus Rings មានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការថែរក្សាការឆ្លាក់ច្បាស់លាស់កំឡុងពេល etching ស្ងួត និងកម្មវិធី wafer etching ។ ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ SiC ជួយក្នុងការផ្តោតទៅលើប្លាស្មាក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដូចជាប្រតិបត្តិការម៉ាស៊ីន etching plasma ដែលធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការ etching នៃ silicon wafers ។ សម្ភារៈ SiC ដ៏រឹងមាំផ្តល់នូវភាពធន់នឹងសំណឹកដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន ធានាបាននូវភាពជាប់បានយូរនៃឧបករណ៍របស់អ្នក និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់រក្សាបាននូវទិន្នផលខ្ពស់ក្នុងការផលិត semiconductor ។

Solid SiC Focus Ring ពី Semicera ត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្លាំង និងសារធាតុគីមីឈ្លានពានដែលជួបប្រទះជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ។ វាត្រូវបានបង្កើតឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងកិច្ចការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាថ្នាំកូត CVD SiCដែលជាកន្លែងដែលភាពបរិសុទ្ធនិងភាពជាប់បានយូរគឺសំខាន់បំផុត។ ជាមួយនឹងភាពធន់ទ្រាំដ៏ល្អឥតខ្ចោះចំពោះការឆក់កម្ដៅ ផលិតផលនេះធានានូវដំណើរការជាប់លាប់ និងមានស្ថេរភាពនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌដ៏អាក្រក់បំផុត រួមទាំងការប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលwaferដំណើរការ etching ។

នៅក្នុងកម្មវិធី semiconductor ដែលភាពជាក់លាក់ និងភាពអាចជឿជាក់បានគឺជាគន្លឹះនោះ Solid SiC Focus Ring ដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរួមនៃដំណើរការឆ្លាក់។ ការរចនាដ៏រឹងមាំ និងដំណើរការខ្ពស់របស់វាធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ឧស្សាហកម្មដែលត្រូវការសមាសធាតុដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលដំណើរការក្រោមលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរ។ ថាតើបានប្រើនៅក្នុងចិញ្ចៀន CVD SiCកម្មវិធី ឬជាផ្នែកមួយនៃដំណើរការ etching ប្លាស្មា, Semicera's Solid SiC Focus Ring ជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការឧបករណ៍របស់អ្នក ដោយផ្តល់នូវភាពជាប់បានយូរ និងភាពជឿជាក់នៃដំណើរការផលិតរបស់អ្នកទាមទារ។

លក្ខណៈសំខាន់ៗ៖

• ធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់។
• សម្ភារៈ SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្រាប់ការពន្យារអាយុជីវិត
• ល្អបំផុតសម្រាប់ការឆ្លាក់ប្លាស្មា, ICP RIE, និងកម្មវិធីឆ្លាក់ស្ងួត
• ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ការ etching wafer ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការ CVD SiC
• ដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបានក្នុងបរិយាកាសខ្លាំង និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
• ធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ និងប្រសិទ្ធភាពក្នុងការឆ្លាក់បន្ទះស៊ីលីកុន

កម្មវិធី៖

• ដំណើរការ CVD SiC ក្នុងការផលិត semiconductor
• ការឆ្លាក់ប្លាស្មា និងប្រព័ន្ធ ICP RIE
• ដំណើរការ etching ស្ងួត និង wafer etching
• ការឆ្លាក់ និងការបោះចោលក្នុងម៉ាស៊ីនប្លាស្មា
•សមាសធាតុច្បាស់លាស់សម្រាប់ចិញ្ចៀន wafer និងចិញ្ចៀន CVD SiC