Semiceraថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនគឺជាថ្នាំកូតការពារដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលធ្វើពីសម្ភារៈស៊ីលីកុនកាបែត (SiC) រឹងខ្លាំង និងធន់នឹងការពាក់។ ថ្នាំកូតជាធម្មតាត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយដំណើរការ CVD ឬ PVD ជាមួយភាគល្អិតស៊ីលីកុនកាបូនផ្តល់នូវភាពធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion គីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះនិងស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ដូច្នេះ ថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច Silicon Carbide ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសមាសធាតុសំខាន់ៗនៃឧបករណ៍ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
នៅក្នុងការផលិត semiconductor,ថ្នាំកូត SiCអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំងរហូតដល់ 1600°C ដូច្នេះថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច Silicon Carbide ជារឿយៗត្រូវបានគេប្រើជាស្រទាប់ការពារសម្រាប់ឧបករណ៍ ឬឧបករណ៍ដើម្បីការពារការខូចខាតក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឬបរិស្ថានដែលច្រេះ។
ជាមួយគ្នានេះថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនអាចទប់ទល់នឹងសំណឹកនៃអាស៊ីត អាល់កាឡាំង អុកស៊ីដ និងសារធាតុប្រតិកម្មគីមីផ្សេងទៀត និងមានភាពធន់ទ្រាំច្រេះខ្ពស់ចំពោះសារធាតុគីមីផ្សេងៗ។ ដូច្នេះផលិតផលនេះគឺសមរម្យសម្រាប់បរិស្ថាន corrosive ជាច្រើននៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ។
លើសពីនេះទៅទៀត បើប្រៀបធៀបជាមួយសម្ភារៈសេរ៉ាមិចផ្សេងទៀត SiC មានចរន្តកំដៅខ្ពស់ជាង ហើយអាចដំណើរការកំដៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ លក្ខណៈពិសេសនេះកំណត់ថានៅក្នុងដំណើរការ semiconductor ដែលតម្រូវឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់, ចរន្តកំដៅខ្ពស់នៃថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនជួយបំបែកកំដៅឱ្យស្មើគ្នា ការពារការឡើងកំដៅក្នុងមូលដ្ឋាន និងធានាថាឧបករណ៍ដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពល្អបំផុត។
| លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តមូលដ្ឋាននៃថ្នាំកូត CVD sic | |
| ទ្រព្យសម្បត្តិ | តម្លៃធម្មតា |
| រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | FCC β ដំណាក់កាល polycrystalline ជាចម្បង (111) តម្រង់ទិស |
| ដង់ស៊ីតេ | 3.21 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 |
| រឹង | 2500 Vickers រឹង (500 ក្រាម) |
| គ្រាប់ធញ្ញជាតិ SiZe | 2 ~ 10 μm |
| ភាពបរិសុទ្ធគីមី | 99.99995% |
| សមត្ថភាពកំដៅ | 640 J · គីឡូក្រាម-1· ខេ-1 |
| សីតុណ្ហភាព Sublimation | ២៧០០ អង្សាសេ |
| កម្លាំងបត់បែន | 415 MPa RT 4 ចំណុច |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | 430 Gpa 4pt ពត់, 1300 ℃ |
| ចរន្តកំដៅ | ៣០០ វ៉-1· ខេ-1 |
| ការពង្រីកកំដៅ (CTE) | ៤.៥ × ១០-6K-1 |
