ការពិពណ៌នា
ក្រុមហ៊ុនរបស់យើងផ្តល់ថ្នាំកូត SiCដំណើរការសេវាកម្មដោយវិធីសាស្ត្រ CVD លើផ្ទៃក្រាហ្វិច សេរ៉ាមិច និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត ដូច្នេះឧស្ម័នពិសេសដែលមានកាបូន និងស៊ីលីកុនមានប្រតិកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីទទួលបានម៉ូលេគុល SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ម៉ូលេគុលដែលដាក់នៅលើផ្ទៃស្រោបសមា្ភារៈបង្កើតស្រទាប់ការពារ SIC ។
លក្ខណៈរបស់ក្បាលផ្កាឈូក SiC មានដូចខាងក្រោម៖
1. ភាពធន់នឹងការ corrosion: សម្ភារៈ SiC មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងអាចទប់ទល់នឹងសំណឹកនៃវត្ថុរាវ និងដំណោះស្រាយគីមីផ្សេងៗ ហើយសមរម្យសម្រាប់ដំណើរការកែច្នៃគីមី និងការព្យាបាលលើផ្ទៃផ្សេងៗ។
2. ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់:ក្បាលម៉ាស៊ីន SiCអាចរក្សាស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការការព្យាបាលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
3. ការបាញ់ថ្នាំឯកសណ្ឋាន៖ក្បាលម៉ាស៊ីន SiCការរចនាមានដំណើរការគ្រប់គ្រងការបាញ់ថ្នាំបានល្អ ដែលអាចសម្រេចបាននូវការចែកចាយរាវឯកសណ្ឋាន និងធានាថាវត្ថុរាវព្យាបាលត្រូវបានគ្របដណ្តប់ស្មើៗគ្នាលើផ្ទៃគោលដៅ។
4. ធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់៖ សម្ភារៈ SiC មានភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ ហើយអាចទប់ទល់នឹងការប្រើប្រាស់បានយូរ និងការកកិត។
ក្បាលផ្កាឈូក SiC ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការព្យាបាលរាវនៅក្នុងការផលិត semiconductor ដំណើរការគីមី ថ្នាំកូតផ្ទៃ electroplating និងវាលឧស្សាហកម្មផ្សេងទៀត។ វាអាចផ្តល់នូវស្ថេរភាព ឯកសណ្ឋាន និងឥទ្ធិពលបាញ់ថ្នាំដែលអាចទុកចិត្តបាន ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាព និងភាពស៊ីសង្វាក់នៃដំណើរការ និងការព្យាបាល។
លក្ខណៈពិសេសចម្បង
1. ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖
ភាពធន់ទ្រាំអុកស៊ីតកម្មនៅតែល្អណាស់នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពឡើងដល់ 1600 C ។
2. ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ ធ្វើឡើងដោយការទម្លាក់ចំហាយគីមីនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌក្លរីនសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
3. ធន់នឹងសំណឹក៖ ភាពរឹងខ្ពស់ ផ្ទៃបង្រួម ភាគល្អិតល្អ។
4. ធន់នឹងច្រេះ៖ អាស៊ីត អាល់កាឡាំង អំបិល និងសារធាតុសរីរាង្គ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេសសំខាន់ៗនៃថ្នាំកូត CVD-SIC
| លក្ខណៈសម្បត្តិ SiC-CVD | ||
| រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | ដំណាក់កាល FCC β | |
| ដង់ស៊ីតេ | g/cm ³ | ៣.២១ |
| រឹង | ភាពរឹងរបស់ Vickers | ២៥០០ |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ | μm | ២~១០ |
| ភាពបរិសុទ្ធគីមី | % | ៩៩.៩៩៩៩៥ |
| សមត្ថភាពកំដៅ | J·kg-1 · K-1 | ៦៤០ |
| សីតុណ្ហភាព Sublimation | ℃ | ២៧០០ |
| កម្លាំង Felexural | MPa (RT 4 ចំណុច) | ៤១៥ |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | Gpa (ពត់ 4pt, 1300 ℃) | ៤៣០ |
| ការពង្រីកកំដៅ (CTE) | 10-6K-1 | ៤.៥ |
| ចរន្តកំដៅ | (W/mK) | ៣០០ |
