ចិញ្ចៀនមគ្គុទ្ទេសក៍ក្រាហ្វីតស្រោបដោយ TaCសំដៅទៅលើការទម្លាក់ស្រទាប់ស្តើងtantalum carbideនៅលើផ្ទៃនៃក្រវ៉ាត់មគ្គុទ្ទេសក៍ក្រាហ្វីតដើម្បីបង្កើនភាពធន់ទ្រាំពាក់របស់វា ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមី។ ថ្នាំកូតនេះជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃរង្វង់ណែនាំក្រាហ្វិតដោយបច្ចេកទេសដូចជាការទម្លាក់ចំហាយរាងកាយ (PVD) ឬការទម្លាក់ចំហាយគីមី (CVD) ។
Semicera ផ្តល់នូវថ្នាំកូតពិសេស tantalum carbide (TaC) សម្រាប់សមាសធាតុ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនផ្សេងៗ។ដំណើរការថ្នាំកូតឈានមុខគេ Semicera អនុញ្ញាតឱ្យថ្នាំកូត tantalum carbide (TaC) សម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការអត់ធ្មត់គីមីខ្ពស់ ការកែលម្អគុណភាពផលិតផលនៃគ្រីស្តាល់ SIC/GAN និងស្រទាប់ EPI (ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា TaC ស្រោបក្រាហ្វិច) និងពន្យារអាយុជីវិតនៃសមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រសំខាន់ៗ។ ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត tantalum carbide TaC គឺដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាគែម និងកែលម្អគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ហើយ Semicera បានទម្លាយនូវដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត tantalum carbide (CVD) ឈានដល់កម្រិតកម្រិតខ្ពស់អន្តរជាតិ។
បន្ទាប់ពីការអភិវឌ្ឍន៍ជាច្រើនឆ្នាំ Semicera បានសញ្ជ័យបច្ចេកវិទ្យានៃCVD TaCជាមួយនឹងកិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងរួមគ្នារបស់នាយកដ្ឋានស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍។ ពិការភាពគឺមានភាពងាយស្រួលក្នុងការកើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការរីកលូតលាស់នៃ SiC wafers ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់តាស៊ី, ភាពខុសគ្នាគឺសំខាន់។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃ wafers ដែលមាន និងគ្មាន TaC ក៏ដូចជាផ្នែក Simicera សម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ។
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃចិញ្ចៀនណែនាំក្រាហ្វិចដែលស្រោបដោយ TaC រួមមាន:
1. ធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់: ថ្នាំកូត TaC មានស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អ ហើយអាចរក្សាស្ថេរភាពនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. ធន់នឹងការពាក់៖ ភាពរឹងខ្ពស់នៃស្រទាប់ស្តើង tantalum carbide ផ្តល់ឱ្យចិញ្ចៀនណែនាំនូវភាពធន់ទ្រាំពាក់ដ៏ល្អ និងពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់វា។
3. ស្ថេរភាពគីមី: ថ្នាំកូត TaC មានស្ថេរភាពខ្ពស់ប្រឆាំងនឹងការ corrosion គីមី ធ្វើឱ្យវាសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីនៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយ corrosive មួយចំនួន។
4. កាត់បន្ថយការកកិត៖ ថ្នាំកូត TaC អាចកាត់បន្ថយការកកិតរវាងក្រវ៉ាត់ណែនាំក្រាហ្វិច និងសមាសធាតុផ្សេងទៀតយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្សាភ្ជាប់មេកានិច។
ដោយមាន និងគ្មាន TAC
បន្ទាប់ពីប្រើ TaC (ស្តាំ)
លើសពីនេះទៅទៀត Semicera'sផលិតផលដែលស្រោបដោយ TaCបង្ហាញអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរជាង និងធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូត SiC.ការវាស់វែងមន្ទីរពិសោធន៍បានបង្ហាញថារបស់យើង។ថ្នាំកូត TaCអាចអនុវត្តបានជាប់លាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2300 អង្សាសេសម្រាប់រយៈពេលបន្ត។ ខាងក្រោមនេះជាឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃគំរូរបស់យើង៖
