ថ្នាំកូត CVD TaC

ការណែនាំអំពី CVD TaC Coating:

CVD TaC Coating គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលប្រើការបំភាយចំហាយគីមីដើម្បីដាក់ថ្នាំកូត tantalum carbide (TaC) ទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ Tantalum carbide គឺជាសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ដំណើរការ CVD បង្កើតខ្សែភាពយន្ត TaC ឯកសណ្ឋាននៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មឧស្ម័ន។

លក្ខណៈសំខាន់ៗ:

ភាពរឹងល្អ និងធន់នឹងការពាក់: Tantalum carbide មានភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំង ហើយ CVD TaC Coating អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការពាក់របស់ស្រទាប់ខាងក្រោម។ នេះធ្វើឱ្យថ្នាំកូតល្អសម្រាប់កម្មវិធីក្នុងបរិយាកាសពាក់ខ្ពស់ ដូចជាឧបករណ៍កាត់ និងផ្សិត។

ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។៖ ថ្នាំកូត TaC ការពារចង្រ្កានសំខាន់ៗ និងសមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រនៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2200°C ដែលបង្ហាញពីស្ថេរភាពល្អ។ វារក្សាស្ថិរភាពគីមី និងមេកានិកនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្លាំង ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងកម្មវិធីនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

ស្ថេរភាពគីមីដ៏អស្ចារ្យ: Tantalum carbide មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះខ្លាំងចំពោះអាស៊ីដ និងអាល់កាឡាំងភាគច្រើន ហើយ CVD TaC Coating អាចការពារការបំផ្លាញស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងបរិស្ថានដែលច្រេះ។

ចំណុចរលាយខ្ពស់។: Tantalum carbide មានចំណុចរលាយខ្ពស់ (ប្រហែល 3880°C) ដែលអនុញ្ញាតឱ្យ CVD TaC Coating ប្រើក្នុងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំងដោយមិនរលាយ ឬបន្ថយ។

ចរន្តកំដៅដ៏អស្ចារ្យ: ថ្នាំកូត TaC មានចរន្តកំដៅខ្ពស់ ដែលជួយបញ្ចេញកំដៅយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពក្នុងដំណើរការដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការពារការឡើងកំដៅក្នុងមូលដ្ឋាន។

កម្មវិធីសក្តានុពល:

• Gallium Nitride (GaN) និង Silicon Carbide epitaxial CVD reactor components រួមទាំង wafer carriers, satellite dish, showerheads, ceilings, and susceptors

• Silicon carbide, gallium nitride និង aluminium nitride (AlN) crystal growth components រួមទាំង crucibles, seed rings, guide rings and filters

• សមាសធាតុឧស្សាហកម្ម រួមទាំងធាតុកំដៅធន់ទ្រាំ ក្បាលចាក់ របាំងមុខ និងប្រដាប់ប្រឡាក់

លក្ខណៈពិសេសនៃកម្មវិធី:

• សីតុណ្ហភាពមានស្ថេរភាពលើសពី 2000°C ដែលអនុញ្ញាតឱ្យដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្លាំង
•ធន់នឹងអ៊ីដ្រូសែន (Hz), អាម៉ូញាក់ (NH3), monosilane (SiH4) និងស៊ីលីកុន (Si) ផ្តល់ការការពារនៅក្នុងបរិស្ថានគីមីដ៏អាក្រក់
• ភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅរបស់វា អាចឱ្យវដ្តប្រតិបត្តិការលឿនជាងមុន
• ក្រាហ្វិចមានភាពស្អិតជាប់យ៉ាងរឹងមាំ ធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ និងគ្មានការបំផ្លាញស្រទាប់ថ្នាំកូត។
• ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដើម្បីលុបបំបាត់ភាពមិនស្អាត ឬសារធាតុកខ្វក់ដែលមិនចាំបាច់
• ការគ្របដណ្ដប់លើការស្រោបស្រោបដោយភាពធន់នឹងវិមាត្រតឹង

លក្ខណៈបច្ចេកទេស:

ការរៀបចំថ្នាំកូត tantalum carbide ក្រាស់ដោយ CVD: