ថ្នាំកូត TaCគឺជាថ្នាំកូតសម្ភារៈដ៏សំខាន់ ដែលជាធម្មតាត្រូវបានរៀបចំនៅលើមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចដោយបច្ចេកវិទ្យានៃការបំភាយឧស្ម័នគីមីសរីរាង្គ (MOCVD) ។ ថ្នាំកូតនេះមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះដូចជា ភាពរឹងខ្ពស់ ធន់នឹងការពាក់ល្អ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមី ហើយស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីវិស្វកម្មដែលមានតម្រូវការខ្ពស់ផ្សេងៗ។
បច្ចេកវិទ្យា MOCVD គឺជាបច្ចេកវិជ្ជាលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅដែលដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាននៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយប្រតិកម្មសារធាតុសរីរាង្គលោហៈជាមួយនឹងឧស្ម័នប្រតិកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នៅពេលរៀបចំថ្នាំកូត TaCការជ្រើសរើសសារធាតុសរីរាង្គ និងប្រភពកាបូនដែលសមស្រប ការគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌប្រតិកម្ម និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការដាក់ប្រាក់ ខ្សែភាពយន្ត TaC ឯកសណ្ឋាន និងក្រាស់អាចត្រូវបានដាក់នៅលើមូលដ្ឋានក្រាហ្វិច។
Semicera ផ្តល់នូវថ្នាំកូតពិសេស tantalum carbide (TaC) សម្រាប់សមាសធាតុ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនផ្សេងៗ។ដំណើរការថ្នាំកូតឈានមុខគេ Semicera អនុញ្ញាតឱ្យថ្នាំកូត tantalum carbide (TaC) សម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការអត់ធ្មត់គីមីខ្ពស់ ការកែលម្អគុណភាពផលិតផលនៃគ្រីស្តាល់ SIC/GAN និងស្រទាប់ EPI (ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា TaC ស្រោបក្រាហ្វិច) និងពន្យារអាយុជីវិតនៃសមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រសំខាន់ៗ។ ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត tantalum carbide TaC គឺដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាគែម និងកែលម្អគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ហើយ Semicera បានទម្លាយនូវដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត tantalum carbide (CVD) ឈានដល់កម្រិតកម្រិតខ្ពស់អន្តរជាតិ។
បន្ទាប់ពីការអភិវឌ្ឍន៍ជាច្រើនឆ្នាំ Semicera បានសញ្ជ័យបច្ចេកវិទ្យានៃCVD TaCជាមួយនឹងកិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងរួមគ្នារបស់នាយកដ្ឋានស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍។ ពិការភាពគឺមានភាពងាយស្រួលក្នុងការកើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការរីកលូតលាស់នៃ SiC wafers ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់តាស៊ី, ភាពខុសគ្នាគឺសំខាន់។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃ wafers ដែលមាន និងគ្មាន TaC ក៏ដូចជាផ្នែក Simicera សម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ។
ដោយមាន និងគ្មាន TAC
បន្ទាប់ពីប្រើ TaC (ស្តាំ)
លើសពីនេះទៅទៀត Semicera'sផលិតផលដែលស្រោបដោយ TaCបង្ហាញអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរជាង និងធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូត SiC.ការវាស់វែងមន្ទីរពិសោធន៍បានបង្ហាញថារបស់យើង។ថ្នាំកូត TaCអាចអនុវត្តបានជាប់លាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2300 អង្សាសេសម្រាប់រយៈពេលបន្ត។ ខាងក្រោមនេះជាឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃគំរូរបស់យើង៖