TaC Coated Plate គឺជាឌីសឯកទេសដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងដំណើរការ SiC epitaxial ដែលផលិតឡើងជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ពីសម្ភារៈក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ ផ្ទៃរបស់វាត្រូវបានស្រោបយ៉ាងល្អិតល្អន់ជាមួយនឹងសារធាតុ tantalum carbide (TaC) ដែលជាសមាសធាតុដែលគេស្គាល់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ និងកម្លាំងពិសេសរបស់វា។ ថ្នាំកូត TaC បង្កើនភាពធន់របស់ចាន និងភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់លក្ខខណ្ឌទាមទារនៃដំណើរការ SiC epitaxial ។
បន្ទះ TaC Coated Plate ប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិតនេះគឺជាឌីសឯកទេសដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងដំណើរការ SiC epitaxial ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយភាពជាក់លាក់ពីសម្ភារៈក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ ផ្ទៃចានដែលស្រោបដោយ TaC ត្រូវបានស្រោបយ៉ាងល្អិតល្អន់ជាមួយ tantalum carbide (TaC) ដែលជាសមាសធាតុដែលគេស្គាល់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ និងកម្លាំងពិសេសរបស់វា។ បម្រើជាវេទិកាដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការដឹកនំ wafers ក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃការលូតលាស់របស់ SiC epitaxial ។ មូលដ្ឋានក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់របស់វាផ្តល់នូវផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាព និងអសកម្ម ខណៈពេលដែលថ្នាំកូត TaC បន្ថែមស្រទាប់ការពារបន្ថែមប្រឆាំងនឹងប្រតិកម្មគីមី និងការពាក់។
សេមិចសម័យTaC Coated Plate ត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការជាក់លាក់របស់អតិថិជន ដោយធានាបាននូវដំណើរការល្អបំផុត និងភាពឆបគ្នាជាមួយនឹងប្រព័ន្ធ SiC epitaxial របស់ពួកគេ។ មិនថាវាជាទំហំ រូបរាង ឬលក្ខណៈជាក់លាក់ផ្សេងទៀតទេ ចានទាំងនេះត្រូវបានកែសម្រួលដើម្បីបំពេញតម្រូវការតែមួយគត់នៃកម្មវិធីនីមួយៗ។
ដោយមាន និងគ្មាន TAC
បន្ទាប់ពីប្រើ TaC (ស្តាំ)
លើសពីនេះទៅទៀត Semicera'sផលិតផលដែលស្រោបដោយ TaCបង្ហាញអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរជាង និងធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូត SiC.ការវាស់វែងមន្ទីរពិសោធន៍បានបង្ហាញថារបស់យើង។ថ្នាំកូត TaCអាចអនុវត្តបានជាប់លាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2300 អង្សាសេសម្រាប់រយៈពេលបន្ត។ ខាងក្រោមនេះជាឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃគំរូរបស់យើង៖
