សន្លឹកក្រាហ្វិចស្រោប Tantalum carbideគឺជាសម្ភារៈក្រាហ្វិចដែលមានស្រទាប់ស្តើងtantalum carbideនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ស្រទាប់ស្តើងនៃ tantalum carbide ជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វិតដោយបច្ចេកទេសដូចជាការទម្លាក់ចំហាយរាងកាយ (PVD) ឬការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) ។ ថ្នាំកូតនេះមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះដូចជាភាពរឹងខ្ពស់ធន់ទ្រាំនឹងការពាក់ល្អធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion និងស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
Semicera ផ្តល់នូវថ្នាំកូតពិសេស tantalum carbide (TaC) សម្រាប់សមាសធាតុ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនផ្សេងៗ។ដំណើរការថ្នាំកូតឈានមុខគេ Semicera អនុញ្ញាតឱ្យថ្នាំកូត tantalum carbide (TaC) សម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការអត់ធ្មត់គីមីខ្ពស់ ការកែលម្អគុណភាពផលិតផលនៃគ្រីស្តាល់ SIC/GAN និងស្រទាប់ EPI (ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា TaC ស្រោបក្រាហ្វិច) និងពន្យារអាយុជីវិតនៃសមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រសំខាន់ៗ។ ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត tantalum carbide TaC គឺដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាគែម និងកែលម្អគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ហើយ Semicera បានទម្លាយនូវដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត tantalum carbide (CVD) ឈានដល់កម្រិតកម្រិតខ្ពស់អន្តរជាតិ។
បន្ទាប់ពីការអភិវឌ្ឍន៍ជាច្រើនឆ្នាំ Semicera បានសញ្ជ័យបច្ចេកវិទ្យានៃCVD TaCជាមួយនឹងកិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងរួមគ្នារបស់នាយកដ្ឋានស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍។ ពិការភាពគឺមានភាពងាយស្រួលក្នុងការកើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការរីកលូតលាស់នៃ SiC wafers ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់តាស៊ី, ភាពខុសគ្នាគឺសំខាន់។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃ wafers ដែលមាន និងគ្មាន TaC ក៏ដូចជាផ្នែក Simicera សម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ។
គុណសម្បត្តិចម្បងនៃសន្លឹកក្រាហ្វិចដែលស្រោបដោយ tantalum carbide រួមមាន:
1. ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ Tantalum carbide មានចំណុចរលាយខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អ ធ្វើឱ្យសន្លឹកក្រាហ្វិចស្រោបស័ក្តិសមសម្រាប់ប្រើក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. ធន់នឹងការ corrosion: ថ្នាំកូត Tantalum carbide អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកនៃសារធាតុ corrosive គីមីជាច្រើន និងពន្យារអាយុសេវាកម្មនៃសម្ភារៈ។
3. ភាពរឹងខ្ពស់៖ ភាពរឹងខ្ពស់នៃស្រទាប់ស្តើង tantalum carbide ផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ល្អ និងសាកសមសម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការភាពធន់ទ្រាំពាក់ខ្ពស់។
4. ស្ថេរភាពគីមី៖ ថ្នាំកូត Tantalum carbide មានស្ថេរភាពដ៏ល្អចំពោះការ corrosion គីមី និងសមរម្យសម្រាប់ការប្រើប្រាស់នៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយ corrosive មួយចំនួន។
ដោយមាន និងគ្មាន TAC
បន្ទាប់ពីប្រើ TaC (ស្តាំ)
លើសពីនេះទៅទៀត Semicera'sផលិតផលដែលស្រោបដោយ TaCបង្ហាញអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរជាង និងធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូត SiC.ការវាស់វែងមន្ទីរពិសោធន៍បានបង្ហាញថារបស់យើង។ថ្នាំកូត TaCអាចអនុវត្តបានជាប់លាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2300 អង្សាសេសម្រាប់រយៈពេលបន្ត។ ខាងក្រោមនេះជាឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃគំរូរបស់យើង៖
