ចានទ្រទ្រង់ទ្រនិចស្រោបដោយ Tantalum carbideគឺជារចនាសម្ព័ន្ធទ្រទ្រង់ ឬទ្រទ្រង់ដែលត្រូវបានគ្របដោយស្រទាប់ស្តើងនៃtantalum carbide. ថ្នាំកូតនេះអាចត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃរងដោយបច្ចេកទេសដូចជាការទម្លាក់ចំហាយរាងកាយ (PVD) ឬការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) ដែលផ្តល់ឱ្យអ្នកទទួលនូវលក្ខណៈសម្បត្តិដ៏ប្រសើរនៃtantalum carbide.
Semicera ផ្តល់នូវថ្នាំកូតពិសេស tantalum carbide (TaC) សម្រាប់សមាសធាតុ និងក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនផ្សេងៗ។ដំណើរការថ្នាំកូតឈានមុខគេ Semicera អនុញ្ញាតឱ្យថ្នាំកូត tantalum carbide (TaC) សម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការអត់ធ្មត់គីមីខ្ពស់ ការកែលម្អគុណភាពផលិតផលនៃគ្រីស្តាល់ SIC/GAN និងស្រទាប់ EPI (ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា TaC ស្រោបក្រាហ្វិច) និងពន្យារអាយុជីវិតនៃសមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រសំខាន់ៗ។ ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត tantalum carbide TaC គឺដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាគែម និងកែលម្អគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ហើយ Semicera បានទម្លាយនូវដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត tantalum carbide (CVD) ឈានដល់កម្រិតកម្រិតខ្ពស់អន្តរជាតិ។
បន្ទាប់ពីការអភិវឌ្ឍន៍ជាច្រើនឆ្នាំ Semicera បានសញ្ជ័យបច្ចេកវិទ្យានៃCVD TaCជាមួយនឹងកិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងរួមគ្នារបស់នាយកដ្ឋានស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍។ ពិការភាពគឺមានភាពងាយស្រួលក្នុងការកើតឡើងនៅក្នុងដំណើរការនៃការរីកលូតលាស់នៃ SiC wafers ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់តាស៊ី, ភាពខុសគ្នាគឺសំខាន់។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃ wafers ដែលមាន និងគ្មាន TaC ក៏ដូចជាផ្នែក Simicera សម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ។
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃចានជំនួយមូលដ្ឋានដែលស្រោបដោយ tantalum carbide រួមមានៈ
1. ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់: Tantalum carbide មានស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះដែលធ្វើឱ្យបន្ទះគាំទ្រមូលដ្ឋានស្រោបស័ក្តិសមសម្រាប់តម្រូវការគាំទ្រនៅក្នុងបរិយាកាសការងារដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
2. ធន់នឹងការ corrosion: ថ្នាំកូត Tantalum carbide មានភាពធន់ទ្រាំ corrosion ល្អអាចទប់ទល់នឹងការ corrosion និងអុកស៊ីតកម្មគីមីនិងពន្យារអាយុសេវាកម្មនៃមូលដ្ឋាន។
3. ភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់៖ ភាពរឹងខ្ពស់នៃថ្នាំកូត tantalum carbide ផ្តល់ឱ្យបន្ទះទ្រទ្រង់មូលដ្ឋាននូវភាពធន់ទ្រាំពាក់ដ៏ល្អ ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ឱកាសដែលទាមទារភាពធន់ទ្រាំពាក់ខ្ពស់។
4. ស្ថេរភាពគីមី៖ Tantalum carbide មានស្ថេរភាពខ្ពស់ចំពោះសារធាតុគីមីជាច្រើនប្រភេទ ដែលធ្វើអោយបន្ទះជំនួយមូលដ្ឋានដែលស្រោបដោយថ្នាំកូតដំណើរការបានល្អនៅក្នុងបរិស្ថានដែលច្រេះខ្លះ។
ដោយមាន និងគ្មាន TAC
បន្ទាប់ពីប្រើ TaC (ស្តាំ)
លើសពីនេះទៅទៀត Semicera'sផលិតផលដែលស្រោបដោយ TaCបង្ហាញអាយុកាលសេវាកម្មបានយូរជាង និងធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូត SiC.ការវាស់វែងមន្ទីរពិសោធន៍បានបង្ហាញថារបស់យើង។ថ្នាំកូត TaCអាចអនុវត្តបានជាប់លាប់នៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 2300 អង្សាសេសម្រាប់រយៈពេលបន្ត។ ខាងក្រោមនេះជាឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃគំរូរបស់យើង៖
