Semicera បង្ហាញពីទម្លាប់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ទ្រុងទ្រុងផលិតឡើងដើម្បីលើកកំពស់ដំណើរការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក។ ភាពច្នៃប្រឌិតបន្ទះស៊ីស៊ីការរចនាធានាបាននូវភាពធន់ពិសេស និងធន់នឹងកម្ដៅខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាធាតុផ្សំសំខាន់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រង wafer នៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
នេះ។បន្ទះស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងវដ្តកម្ដៅខ្លាំង ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធ ធានាបាននូវការដឹកជញ្ជូន wafer ដែលអាចទុកចិត្តបានក្នុងកំឡុងដំណាក់កាលសំខាន់នៃការផលិត semiconductor ។ ជាមួយនឹងកម្លាំងមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះទូក waferកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចខាតដល់ wafers ដែលនាំឱ្យមានទិន្នផលខ្ពស់ និងគុណភាពផលិតកម្មជាប់លាប់។
ការច្នៃប្រឌិតដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុង Paddle SiC របស់ Semicera ស្ថិតនៅក្នុងជម្រើសនៃការរចនាផ្ទាល់ខ្លួនរបស់វា។ តម្រូវតាមតម្រូវការផលិតកម្មជាក់លាក់ បន្ទះក្តារផ្តល់នូវភាពបត់បែនក្នុងការរួមបញ្ចូលជាមួយនឹងការដំឡើងឧបករណ៍ផ្សេងៗ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អសម្រាប់ដំណើរការផលិតទំនើប។ សំណង់ទម្ងន់ស្រាល ប៉ុន្តែរឹងមាំ អាចជួយសម្រួលដល់ការចាត់ចែង និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំប្រតិបត្តិការ ដែលរួមចំណែកដល់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពក្នុងការផលិតសារធាតុ semiconductor ។
បន្ថែមពីលើលក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ និងមេកានិករបស់វា។បន្ទះស៊ីលីកុនកាបូនផ្តល់នូវភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់ សូម្បីតែនៅក្នុងបរិយាកាសគីមីដ៏អាក្រក់ក៏ដោយ។ នេះធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ការប្រើប្រាស់នៅក្នុងដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការ etching, deposition, and high-temperature treatment, where the high-temperature process, where the boost the wafer boat is important for the high-quality outputs.
លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តនៃ Silicon Carbide កែច្នៃឡើងវិញ | |
ទ្រព្យសម្បត្តិ | តម្លៃធម្មតា |
សីតុណ្ហភាពការងារ (°C) | 1600 ° C (ជាមួយអុកស៊ីសែន), 1700 ° C (កាត់បន្ថយបរិស្ថាន) |
មាតិកាស៊ីស៊ី | > 99.96% |
មាតិកា Si ឥតគិតថ្លៃ | < 0.1% |
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន | 2.60-2.70 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3 |
porosity ជាក់ស្តែង | < 16% |
កម្លាំងបង្ហាប់ | > 600 MPa |
កម្លាំងពត់កោងត្រជាក់ | 80-90 MPa (20 ° C) |
កម្លាំងពត់កោងក្តៅ | 90-100 MPa (1400 ° C) |
ការពង្រីកកំដៅនៅ 1500°C | ៤.៧០ ១០-6/°C |
ចរន្តកំដៅ 1200°C | 23 W/m•K |
ម៉ូឌុលបត់បែន | 240 GPa |
ភាពធន់នឹងការឆក់កំដៅ | ល្អណាស់ |