ជាផ្នែកមួយនៃសមាសធាតុស្នូលនៃឧបករណ៍ MOCVDមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចគឺជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន និងកំដៅនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវឯកសណ្ឋាន និងភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត ដូច្នេះគុណភាពរបស់វាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ការរៀបចំសន្លឹក epitaxial ហើយក្នុងពេលតែមួយជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃចំនួន ការប្រើប្រាស់និងការផ្លាស់ប្តូរលក្ខខណ្ឌការងារវាងាយស្រួលពាក់ណាស់ដែលជាកម្មសិទ្ធិរបស់ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់។
ទោះបីជាក្រាហ្វិចមានចរន្តកំដៅនិងស្ថេរភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះក៏ដោយក៏វាមានគុណសម្បត្តិល្អដែលជាសមាសធាតុមូលដ្ឋានឧបករណ៍ MOCVDប៉ុន្តែនៅក្នុងដំណើរការផលិត ក្រាហ្វិចនឹងរលួយម្សៅដោយសារតែសំណល់នៃឧស្ម័ន corrosive និងសារធាតុសរីរាង្គលោហធាតុ ហើយអាយុកាលសេវាកម្មនៃមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចនឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានោះម្សៅក្រាហ្វិចដែលធ្លាក់ចុះនឹងបណ្តាលឱ្យមានការបំពុលដល់បន្ទះឈីប។
ការលេចចេញនៃបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតអាចផ្តល់នូវការជួសជុលម្សៅលើផ្ទៃ បង្កើនចរន្តកំដៅ និងចែកចាយកំដៅស្មើៗគ្នា ដែលបានក្លាយជាបច្ចេកវិទ្យាចម្បងក្នុងការដោះស្រាយបញ្ហានេះ។មូលដ្ឋានក្រាហ្វិចនៅក្នុងឧបករណ៍ MOCVDការប្រើប្រាស់បរិស្ថាន ថ្នាំកូតផ្ទៃក្រាហ្វិចគួរតែបំពេញតាមលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ
(1) មូលដ្ឋានក្រាហ្វិចអាចត្រូវបានរុំយ៉ាងពេញលេញហើយដង់ស៊ីតេគឺល្អបើមិនដូច្នេះទេមូលដ្ឋានក្រាហ្វីតងាយនឹងរលួយនៅក្នុងឧស្ម័នដែលច្រេះ។
(2) កម្លាំងរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយនឹងមូលដ្ឋានក្រាហ្វិចគឺខ្ពស់ដើម្បីធានាថាថ្នាំកូតមិនងាយនឹងធ្លាក់ចុះបន្ទាប់ពីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងសីតុណ្ហភាពទាបជាច្រើនវដ្ត។
(3) វាមានស្ថេរភាពគីមីល្អដើម្បីជៀសវាងការបរាជ័យនៃថ្នាំកូតនៅក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងបរិយាកាស corrosive ។
SiC មានគុណសម្បត្តិនៃភាពធន់នឹងច្រេះ ចរន្តកំដៅខ្ពស់ ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅ និងស្ថេរភាពគីមីខ្ពស់ ហើយអាចដំណើរការបានយ៉ាងល្អនៅក្នុងបរិយាកាស GaN epitaxial ។លើសពីនេះទៀតមេគុណពង្រីកកំដៅនៃ SiC ខុសគ្នាតិចតួចពីក្រាហ្វិតដូច្នេះ SiC គឺជាសម្ភារៈដែលពេញចិត្តសម្រាប់ថ្នាំកូតផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានក្រាហ្វិច។
នាពេលបច្ចុប្បន្ន SiC ទូទៅគឺភាគច្រើនជាប្រភេទ 3C, 4H និង 6H ហើយការប្រើប្រាស់ SiC នៃប្រភេទគ្រីស្តាល់គឺខុសគ្នា។ឧទាហរណ៍ 4H-SiC អាចផលិតឧបករណ៍ដែលមានថាមពលខ្ពស់;6H-SiC មានស្ថេរភាពបំផុត និងអាចផលិតឧបករណ៍ photoelectric ។ដោយសារតែរចនាសម្ព័ន្ធរបស់វាស្រដៀងទៅនឹង GaN 3C-SiC អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតស្រទាប់ GaN epitaxial និងផលិតឧបករណ៍ SiC-GaN RF ។3C-SiC ត្រូវបានគេស្គាល់ជាទូទៅថាជាβ-SiC និងការប្រើប្រាស់សំខាន់នៃβ-SiC គឺដូចជាខ្សែភាពយន្ត និងសម្ភារៈថ្នាំកូត ដូច្នេះβ-SiC បច្ចុប្បន្នគឺជាសម្ភារៈសំខាន់សម្រាប់ថ្នាំកូត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី០៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ២០២៣