វត្ថុធាតុដើមដែលប្រើក្នុងការផលិតទឹកថ្នាំ ជាធម្មតារួមមាន ក្រាហ្វិចហ្វ្លក កូកាកូឡា និងទឹកថ្នាំថ្មមីក្រូគ្រីស្តាល់។ភាពបរិសុទ្ធនៃក្រាហ្វីតកាន់តែខ្ពស់ តម្លៃប្រើប្រាស់កាន់តែខ្ពស់។វិធីសាស្រ្តបន្សុតក្រាហ្វិចអាចបែងចែកជាវិធីសាស្ត្ររូបវន្ត និងវិធីសាស្ត្រគីមី។វិធីសាស្ត្របន្សុតរាងកាយ រួមមានការបន្សុត និងការបន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយវិធីសាស្ត្របន្សុតគីមីរួមមាន វិធីសាស្ត្រអាស៊ីត-មូលដ្ឋាន វិធីសាស្ត្រអាស៊ីត hydrofluoric និងវិធីសាស្ត្រដុតក្លរួ។
ក្នុងចំនោមពួកគេ វិធីសាស្ត្របន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អាចប្រើចំណុចរលាយខ្ពស់ (3773K) និងចំណុចរំពុះនៃក្រាហ្វិច ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធ 4N5 និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការហួត និងការបំភាយសារធាតុកខ្វក់ដែលមានចំណុចរំពុះទាប ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃ ការបន្សុត [6] ។បច្ចេកវិទ្យាសំខាន់នៃទឹកថ្នាំដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គឺការកម្ចាត់ចោលនូវសារធាតុមិនបរិសុទ្ធ។រួមផ្សំជាមួយនឹងលក្ខណៈនៃការបន្សុតគីមី និងការបន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដំណើរការបន្សុតកម្ដៅកម្ដៅខ្ពស់ដែលមានសមាសធាតុផ្សំតែមួយគត់ត្រូវបានអនុម័ត ដើម្បីសម្រេចបាននូវការបន្សុតនៃវត្ថុធាតុទឹកថ្នាំដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផលអាចមានលើសពី 6N ។
មុខងារ និងមុខងារផលិតផល៖
1, ភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផល≥99.9999% (6N);
2, ស្ថេរភាពម្សៅកាបូននៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់, កម្រិតខ្ពស់នៃក្រាហ្វិច, ភាពមិនបរិសុទ្ធតិច;
3, granularity និងប្រភេទអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងបើយោងតាមអ្នកប្រើប្រាស់។
ការប្រើប្រាស់ផលិតផលសំខាន់ៗ៖
■ការសំយោគម្សៅ SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសម្ភារៈកាបូនសំយោគដំណាក់កាលរឹងផ្សេងទៀត។
■ដាំពេជ្រ
■សម្ភារៈចរន្តកំដៅថ្មីសម្រាប់ផលិតផលអេឡិចត្រូនិច
■សម្ភារៈ cathode ថ្មលីចូមកម្រិតខ្ពស់
■សមាសធាតុលោហៈដ៏មានតម្លៃក៏ជាវត្ថុធាតុដើមផងដែរ។
